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AOI基本知识介绍 题纲 什么是AOI? 为什么要引进AOI? AOI的三个发展阶段 AOI的工作原理 AOI的制程位置 AOI评估的三要素 AOI优缺点什么是AOI? AOI是英文AutomaticOpticalInspector的简写,中文名为自动光学检测仪。 为什么要引进AOI? 众所周知,随着LED产品越来越精密、效率要求越来越高,人工目检显然已经适应不了现代化工业要求,曾有研究表明:当两个人检测相同的产品四次时,他们相互的认同率只有50%,相信自己判断的只有40%。且人容易疲劳和受情绪影响,相同的产品周一的检测效果和周六的检测效果区别大相径庭,白天和晚上的区别又不各有差异,恋爱阶段和失恋阶段的结果也截然不同。相对于人工目检来说:AOI具有更高的稳定性、可重复性和更高的精准度。而且一个普通10人的检查岗位使用AOI后一个人就可以完成检测工作,更重要的是,AOI可以生成一系列的测试数据反馈给工艺工程师,做到防范于未然,及时发现前段制程出现的异常问题。由此说来使用AOI已成为LED行业检测产品外观的必然发展趋势。AOI的三个发展阶段: 从国内SMT引进第一台AOI到国内自主研发生产AOI再到目前的AOI市场群雄逐鹿的现状,AOI经历了三个发展阶段: 一、被动的接受AOI作为检查装置。(对一个新鲜事物的好奇和认知) 二、被客户逼迫使用AOI。(借以品质保障设备取得更多订单) 三、主动要求使用AOI。(对外交流更多,对自身期望更高)AOI的工作原理: 基本原理:用光学手段获取被测物图形,一般通过一传感器(摄像机)获得检测物的照明图象并数字化,然后以某种方法进行比较,分析和判断,相当于将人工目检自动化,智能化。 AOI检测分为两部分:光学部分和图像处理部分。 通过光学部分获得需要检测的图像;通过图像处理部分来分析、处理和判断。图像处理部分需要很强的软件支持,因为各种缺陷需要不同的计算方法用电脑进行计算和判断。 人认识物体是通过光线反射回来的量进行判断,反射量多为亮,反射量少为暗。AOI与人判断原理相同,以灰阶值(0~255)来判断瑕疵。AOI通过LED灯光代替自然光,光学透镜和CCD代替人眼,把从光源反射回来的量与设定标准值进行比较、分析和判断。目前AOI共有四组光源,分别为同轴光、高环光、低环光和背光,打光效果如下图所示: 同轴光高环光背光 低环光AOI可以检测到的一些晶粒外观不良,如下图所示: MESA线异常 探针痕迹过大发光区污染电极刮伤及污染 PN电极色差多晶AOI的制程位置 AOI在制程的位置是被安排在点测站和分类站之间,读取点测数据转档后的Mapping图,经AOI扫描检测后,在输出的档案中把外观不良的晶粒修改成统一的外观不良Bin。在分类作业时,就可以不用再挑拣该Bin的晶粒,达到把外观不良晶粒剔除的功能。AOI评估的三要素: AOI作为一种检测设备,拥有万变不离其宗的三个主要要素:快、准、稳! 一、快,即检测速度要快。 AOI快速检测的条件是什么? AOI的检测速度分为两个阶段: 1、拍摄图像;2、处理图像; 因为相机的FOV(视窗)有限,所以就必须通过移动X\Y平台来拍摄完整个芯片的图像,在X\Y平台的运动过程当中又要考虑载台什么时候开始移动、移动到什么位子、什么时候开始拍照,什么时候开始进行图像处理和分析等等,也就是说:AOI的检测速度必须协调软硬件同时工作,这里就牵涉到AOI使用什么样的伺服系统、使用什么样的相机、使用什么样的丝杆、其核心算法又是什么?我们计算AOI的检测速度是要从load到unload的整个时间,而不是单单从AOI本身提供的速度作为依据,因为有很多AOI的检测速度只记录了拍摄时间,而没有记录软体处理分析时间,致使大家受蒙蔽。二、准,即较高的检出率和较低的误判率。AOI的准确判断跟软硬件都有密不可分的关系,当然最主要的是软件的核心算法,目前AOI种类繁多,算法也各不相同,有使用边缘检测、法则判断、矢量分析、模板比较和统计建模等等,各有千秋,不能一言定论孰优孰劣,除此之外,硬件的要求也是相对比较严格的,比如说相机,相机是AOI眼睛,一个好的相机固然能够捕捉到优质的图像,这里不得不提到一个像素的问题,经常有朋友问AOI的像素是多少,大家以为像素越高其检测效果就更好,更准确,其实不然,为什么呢?首先得明白几个基本概念: 1、相机像素. 相机像素是指这个相机总共有多少个感光晶片,通常用万个为单位表示,以矩阵排列,百万像素相机的像素矩阵为W*H=1000*1000。 2、相机分辨率. 相机分辨率,指一个像素表示的实际物体的大小,用um*um表示,数值越小,分辨率越高。 3、拍摄范围(FOV). FOV是指AOI相机实际拍摄的面积,以毫米×毫米表示。FO