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钛酸锶陶瓷基片双面研磨工艺及其表面质量研究
一、引言
随着科学技术的不断进步，工业界对于具有高耐磨性，高强度，耐腐蚀性和高温稳定性的材料的需求越来越大，而钛酸锶陶瓷作为一种新型的材料，其优异的性能备受工业界的关注。然而，其表面质量的要求也越来越高，尤其是在制备双面光洁度极高的钛酸锶陶瓷基片方面。因此，本文主要研究钛酸锶陶瓷基片双面研磨工艺及其表面质量，以满足工业生产中对于高质量钛酸锶陶瓷基片的需求。
二、理论分析
1.钛酸锶陶瓷的特性
钛酸锶陶瓷在结构上属于钛酸酸盐基陶瓷。其中，主要成分为钛酸锶（SrTiO3），由于其具有一系列特殊的电学、热学、磁学、力学特性，被广泛地应用于各种领域，如电子、光电子、声学、机械工程等。钛酸锶陶瓷自身具有高硬度、高熔点、高抗压强度和高介电常数等特点。
2.研磨原理
研磨工艺是一种精密加工技术，其主要原理为通过磨削机械的力量削去工件表面的材料，以达到形状和尺寸的精确要求，同时获得高质量的表面光洁度。研磨操作的主要参数包括砂轮种类、砂轮粗细度、研磨速度、进给速度、研磨压力和冷却液等。
3.双面研磨工艺
双面研磨工艺是一种同时对工件两面进行研磨的加工技术，其主要优点在于可以大大提高加工的效率和质量。在研磨过程中，需要遵循中间性原则，即研磨过程中不允许出现波浪形、弧形等几何形状，避免产生冲击和切削力，引起工件内部应力的残留。
三、实验内容
1.实验材料和设备
本次实验使用的材料为钛酸锶陶瓷基片，设备为两个面研磨机。
2.实验步骤
（1）粗磨：在第一台面研磨机上，选择较大的磨粒砂轮对工件进行粗磨，将工件的表面大致修整成规定形状和尺寸。
（2）中磨：在第二台面研磨机上，使用细磨砂轮对工件进行中磨处理，使其表面质量得到进一步提高。
（3）精磨：在第二台面研磨机上，使用超细磨砂轮对工件进行精磨处理，以达到非常高的表面光洁度和平面度。
（4）清洗：对于研磨过程中产生的碎屑和残余物进行清洗处理，以保证工件表面的光洁度和稳定性。
四、实验结果分析
经过实验处理后，我们可以得出以下结论：
（1）研磨过程中，磨轮的选择和磨粒的精度对于表面质量有着至关重要的作用。
（2）采用双面研磨工艺可以大幅提高加工效率和质量。
（3）在保持中间性原则的前提下，冷却液的使用可以有效降低工件表面的温度，减少热变形的发生。
五、结论
综上所述，本文针对钛酸锶陶瓷基片双面研磨工艺及其表面质量的问题进行了研究，并通过实验验证了双面研磨工艺能够提高加工效率和表面质量。研究结果对于制备高质量钛酸锶陶瓷基片具有重要的指导意义。