低气压双频容性耦合电负性等离子体物理特性的研究.docx

低气压双频容性耦合电负性等离子体物理特性的研究
本论文主要探讨低气压双频容性耦合电负性等离子体（CAP）的物理特性。
一、背景介绍
CAP是一种低温等离子体，在空气或其它气体中操作良好。它已经被广泛应用于各种应用场合，如SEM清洗、表面处理、生物技术等领域。CAP的物理特性受到其操作气压、射频功率、电压频率等因素的影响。在低气压环境下，CAP的物理特性具有独特之处。
二、低气压CAP的物理特性
1.阻抗变化
在低气压环境下，气体压强较低，等离子体与气体分子之间的相互作用也较小，这将导致，对等离子体的激励需要更大的功率和更高的电压。此外，气体分子的平均自由程减小，因此等离子体的构建速度增加。这些因素导致CAP的电阻和电抗更加突出，使其在低气压环境下，阻抗特性更加突出。
2.气体组成
CAP的等离子体中常应用气体是现有气体中最常用的气体之一，其官能团组成为C4H2N2。尽管该气体在低气压条件下得到广泛应用，但在气体分子中，氮原子和氧原子也经常出现，这些将对CAP的物理特性产生重要影响。
3.等离子体密度和温度
在低气压环境下，CAP的等离子体密度和温度相比高气压环境下要高得多。CAP中的等离子体密度受到电磁波和电场影响，使等离子体的产生率增加，而等离子体电子温度则由射频功率和气体压强决定。这些因素相互作用，使得低气压CAP的物理特性与其他环境下的CAP有显著的差异。
三、结论
本论文主要介绍低气压双频容性耦合电负性等离子体（CAP）的物理特性。由于气压低，导致等离子体的产生需要更高的功率和电压，此外，气体组成和气体分子自由程的变化都会对CAP的物理特性产生影响。理解这些因素在CAP中的作用对于提高该技术的效率和应用范围具有重要意义。