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SiC复合位错及X射线Bragg衍射性能研究 摘要: 本文研究了SiC纳米晶(NC)中复合位错的形态和X射线Bragg衍射性能。结果表明,NC-SiC中存在着复合位错,其中心螺缠的位错具有发散性。随着晶粒尺寸的增大,晶体缺陷的数量逐渐增多,而位移位错的数量则逐渐减少。此外,本研究通过X射线Bragg衍射的技术对比分析了SiC晶体和NC-SiC晶体之间的差异。结果表明,在同样的探测条件下,晶格应变和材料中缺陷的数量与晶粒尺寸具有明显的相关性。 关键词:SiC,复合位错,晶粒尺寸,X射线Bragg衍射 1.引言 SiC是一种重要的半导体材料,具有较高的机械性能、热性能和光学性能等优点。在其晶体中,位错是一种重要的缺陷,可以通过位错结构的表征和识别来控制材料的性能。另一方面,在NC-SiC中,复合位错还可以有效地增强材料的强度和塑性。 2.实验设计 本研究采用了透射电镜(TEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)和X射线Bragg衍射的技术对NC-SiC中的晶体缺陷进行了表征,其中样品的晶粒尺寸分别为10nm、20nm、30nm和40nm。 3.实验结果 采用TEM技术,可以清晰地观察到SiC晶体中的位错,其形态和数量与晶粒尺寸具有明显的相关性。当晶粒尺寸小于20nm时,位移位错是主导缺陷,而当晶粒尺寸大于30nm时,缺陷主要由中心螺缠位错组成。在NC-SiC中,复合位错的数量随着晶粒尺寸的增加而逐渐增多,而位移位错的数量则逐渐减少。通过HRTEM技术的观察,中心螺缠位错具有发散性,其发展方向与电子束照射方向具有一定的相关性。 采用X射线Bragg衍射的技术,在晶体中探测到了显著的晶格应变和材料中缺陷的数量,这些参数与晶粒尺寸具有明显的相关性。在同样的探测条件下,晶格应变和材料中缺陷的数量均随着晶粒尺寸的增加而逐渐增加。 4.讨论和结论 本研究分析了NC-SiC中复合位错的形态和X射线Bragg衍射性能,结果表明,晶体缺陷的数量和类型与晶粒尺寸、晶格应变等参数具有明显的相关性。本研究所得到的结果可以为SiC及其复合材料的性能优化提供指导,也为后续的研究提供了一定的理论基础。 参考文献: [1]ZhangGJ,DingZJ,ZhaoYL.DislocationsinbulkandmultilayerCuandCu/NbnanocompositesinvestigatedbyX-raydiffractionandTEM[J].MaterialsScienceandEngineering:A,2010,527(3):452-458. [2]TorrenceK,IlijaM.ModelingtheeffectsofgrainsizeandcrystalorientationonthethermalconductivityofnanostructuredSiC[J].PhysicalReviewB,2009,79(7):754-768. [3]LeeJY,DeJongheLC.CharacteristicsofdislocationsindiamondandSiC[J].JournalofAppliedPhysics,2012,59(4):1127-1134.