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半导体设备产业崛起在中国

本刊记者赵明华

1引言品产值，并创造100元国内生产总场表现颇佳，这与2006年全球半导
“科技是第一生产力”是众所值，因此集成电路产业的振兴对一体厂商迅速提高产能有关。详见表
周知的事实，但另一个事实也许并个国家的经济发展有着重要的战略1：2004-2009年全球半导体设备区
不为所有人知道：在我国国民经济意义。域市场变化。
的发展中，电子信息产业是龙头，SEMI认为，由于众多芯片制造
而集成电路产业则是整个电子信息2全球设备市场风起商都开始增加设备投资，（特别是
产业的核心和基础。云涌在购置200mm和300mm方面），
集成电路对设备生产、原材顶级美国市场调研公司ICIn-引进新技术和工艺，世界半导体设
料以及生产环境的要求十分苛刻。sights日前表示，半导体制造设备备业将于2007年进入最佳时期。表
制造的工序有800多道，耗时20天市场继2004年表现亮丽并在2005年2是SEMI对未来几年不同类型设备
以上，只要一道工序出现问题或者下滑之后，目前正在持稳。2006年的市场销售预测。
一粒尘埃落在产品上，都会导致产该市场营收已达到了345亿美元。中国半导体产业的飞速发展为
品报废，造成巨大的经济损失。这2006年7月SEMI预测2006年半导体设备业带来了广阔的市场。
也直接导致集成电路产业几乎成为全球半导体设备市场为388.1亿美国际半导体设备暨材料协会(SEMI)
全世界上最昂贵的“吞金”产业。一元，比2005年增长18%，这与2006日前发表预测，2006年到2008年
般来说，投资一条8英寸的集成电年全球半导体市场增长8%-11%密期间，中国半导体设备总销售额预
路生产线需要10亿美元，而建设切相关。预计2007年可达到393.计为66亿美元，从半导体设备资本
一条12英寸的集成电路生产线所6美元。2006年全球半导体设备市支出来看，SEMI预计2006年与

需的资金更是高达15亿-
20亿美元，因此集成电路
的生产实际上也是对一个
国家整体工业水平和经济
实力的考验。在中国，每
1元人民币的集成电路产
值可以带动10元电子产

18半导体行业2007/2
备可提供使用；0.5微米生产线主要
设备（包括电子束曝光机、光刻
机、离子注入机、IMDCVD、
MRIE、PVD）的原型样机已经提
2007年基本持平。SEMI表示，预3.1设备产业基本情况供用户。0.25微米以上水平设备的
计2006年中国总体半导体设备支出随着半导体设备市场的快速发单元技术有所突破；0.1微米、10
将从2005年的10亿美元劲增至20.展，我国从事半导体设备开发和生级的空气净化产品和检测仪器，超
3亿美元，2007年微升至20.5亿美产的企业正在迅速增加，已从2002纯水处理设备和超纯气体净化设备
元，而2008年将达到25.6亿美元。年的40个发展为2006年的60个（包已有系列产品；有些品种的半导体
2006-2008年中国半导体设备总资括兼做单位），其中主要单位20家塑封模具已可满足需要；适应线宽
本支出为66亿美元，其中300mm左右，自主研制的集成电路专用设1微米以上、64腿以下集成电路的
晶圆设备将占中国半导体设备总资备达到上百个品种。大部分企业从数/模混合和数字集成电路测试系统
本支出的70%。事前工序和后工序设备研制，材料已经批量提供用户使用；国产高低
应该看到，尽管2006年，中制备设备、净化设备、半导体专用温试验设备已在用户中取得了良好
国半导体设备的市场容量已超过20工模具、检测设备、试验设备，半的信誉。但与国外先进水平相比，
亿美元。但是，国产半导体设备占导体设备零部件也各有一些单位在国内半导体设备的制造技术存在较
有率仅为5%。由于目前中国集成研究和生产。大差距，相应的加工线宽相差5个
电路制造业的投资热潮与处于“瓶这些设备应用领域为：集成电技术档次。
颈”的中国半导体设备生产的缺路、分立器件、新型显示器件3.2国内设备新产品开发情况
乏，技术与工艺的落后，使得大部（LED、LCD、PDP、VFD）、电中国半导体核心设备长期以来
分设备依赖进口，出现了世界半导力电子器件、混合集成电路被国外厂商所垄断。近年来，在国
体设备投资中心向中国大陆转移的（HIC）、压电晶体器件（石英晶家政府扶持、国外风险投资介入以
局面。巨大的商机吸引了众多国外体谐振器、振荡器、滤波器、声及国内一些半导体芯片厂商的支持
半导体设备厂商来华投资。表器件）、太阳能电池、敏感器下，国内设备业的一些关键设备研
件、微机械、光纤通信器件等。制和生产已有所建树。
3国内半导体设备市国产半导体设备的服务方向虽2006年10月北方微电子公司
场初露曙光仍以一些院校和研究所中的科研型100nm、200mm高密度