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薄膜的生长过程和薄膜结构ppt课件.ppt

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第五章薄膜的生长过程 和薄膜结构薄膜生长过程概述薄膜生长过程概述薄膜生长过程概述薄膜生长过程概述薄膜生长过程概述薄膜生长过程概述薄膜生长过程概述新相的自发形核理论新相的自发形核理论新相的自发形核理论新相的自发形核理论新相的自发形核理论新相的自发形核理论新相的自发形核理论新相的自发形核理论新相的自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论薄膜的非自发形核理论连续薄膜的形成连续薄膜的形成连续薄膜的形成连续薄膜的形成连续薄膜的形成薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构薄膜生长过程与薄膜结构非晶薄膜非晶薄膜非晶薄膜非晶薄膜薄膜织构织构定义单晶体在不同的晶体学方向上，其力学、电磁、光学、耐腐蚀、磁学甚至核物理等方面的性能会表现出显著差异，这种现象称为各向异性。多晶体是许多单晶体的集合，如果晶粒数目大且各晶粒的排列是完全无规则的统计均匀分布，即在不同方向上取向几率相同，则这多晶集合体在不同方向上就会宏观地表现出各种性能相同的现象，这叫各向同性。 然而多晶体在其形成过程中，由于受到外界的力、热、电、磁等各种不同条件的影响，或在形成后受到不同的加工工艺的影响，多晶集合体中的各晶粒就会沿着某些方向排列，呈现出或多或少的统计不均匀分布，即出现在某些方向上聚集排列，因而在这些方向上取向几率增大的现象，这种现象叫做择优取向。这种组织结构及规则聚集排列状态类似于天然纤维或织物的结构和纹理，故称之为织构。织构测定在材料研究中有重要作用。薄膜织构薄膜织构薄膜织构薄膜织构薄膜织构薄膜织构薄膜织构薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜的外延生长薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力薄膜中的应力和薄膜的附着力