10．6IJLm激光器一级输出高衍射效率闪耀光栅的研制.pdf

光电子·激光
第15卷第10期20；)4年10月JournalofOptoelectronics‘Laser

·光电子器件和系统·

10．6IJLm激光器一级输出高衍射效率闪耀光栅的研制

巴音贺希格一，高键翔，齐向东，李春启
(中罔科学院长存光学精密机械与物理研究所，吉林K春130033)

摘要：建立了文际刻划光栅的物理模型，给出了相应的衍射效率表达式，斤研制⋯了在IittFOW安装下一
级衍射效率达到97．：的夫功率10．6m红外激1)l(=器用反射式闪耀光栅。实际刎划栅通常郜俘存
零级【f【i，采用傅里叶分析力法町以推导⋯计算带有零绒面的闪耀光栅衍射效率的一般表达式．⋯理论分
析可知．零级面是造成l耀光栅衍射效牢F降的原之一。存l艺过程中．通过加人刻划吼载使零级面
减小．JJ口人侧向压力任化对l耀向的抛光等，是提高比栅划槽质量和衍射效率的有效途径。
关键词：廊用光学；红外激光器；闪耀栅；衍射效棼
中图分类号：0436．1；()38．文献标识码：A文章编号：1005—0086(2004)10113701

ManufactureforHighDiffractionEfficiencyGratingintheFirst—orderOutput

Of10．6mLaser

Bayanheshig一．GA()Jian—xiang．Q1Xiangdong．LIChun—qi

(ChangchunInstituteof()plies，FineMechanicsandPhysics．FheChineseAcademyofScienc’es．Chang

chun1：{()()33．China)

Abstract：Thephysicalmodelofrealruledgratingispurposed·thec0rresp0ndingexpressionofdifraction

eficiencyisgiven·andreflectingblazedgrating·whichisfixedonthe106pmIRlaserwith9percentin

thefirstorderdifractioneficiencyinLittrowform·wasmadeThereisthezero—orderplaneintherealruled

grating·wecandeducedthegeneralexpressionofdifractioneficiencyoftheblazedgratingwiththezero—

orderplanebyFourieranalysismethodAccordingtothetheoryanalysiswecanseethatthezero—order

planeisoneofallthereasonsthatcauseddecreaseinthedifractioneficiencyoftheblazedgratingInthe

processoftechnology·itisanefectivemethodforincreaseingroovequalityanddifractioneficiencythat

increasingruledloadmadethezero—orderplanedecreaseandenhancinglateralpressureintensifiedpoliture

toblazedplane

Keywords：appliedoptics；IRlaser~blazedgrating；diffractioneficienoy

功率激光器的金属基底闪耀光栅必须是原刻光栅。
1引言
要制备符合技术指标的闪耀光栅，精确控制光栅槽形
机械刻划闪耀光栅是由光栅刻划机在镀有铝膜和确保刻槽质量至关重要，而这义与诸多素有关，
的玻璃、紫铜、无氧铜或不锈钢等毛坯(基底)上刻划比如刻划机精度、电稳定性、环境温度和湿度、膜层厚
来的。光栅刻划是金刚石刻刀对铝膜挤压、抛光的度、铝材钝度和韧性、刻刀角度参数、刻划负载等等。
过程，在该过程中并不产牛切屑，是使铝膜表面按在已满足刻划要求的条件下，试刻过程中微镜下观
照设计‘要求发生适当形变。按机械刻划光栅的制备察光栅零级面结构尺寸并加以州擎足保障衍射效率
过程分类，可分为原刻光栅和复制光栅两种，用于大的必要途径，也是我们多年来一直采用的成功方法之

收稿日期：2O0l_o11ll
*基金项目：困家自然科学基金资助项l1(10001011)：【Jl同科学院知识创新f程资助项目(ZJooK05B)
**E—mail：[e-mail]1]

光电子·撒光一i生鲞

一
。所谓三角槽形