半导体气体特性及系统ppt课件.ppt

半导体气体特性介绍1.BulkGas大宗气体2.SpecialtyGas特气一.大宗气体供应系统-BulkGasSupplySystem2.主要用途介紹:

*CDA–作為Fab中氣動設備(如Pump)的氣源及吹淨(Purge)
作為LocalScrubber助燃的氣源
*IA–作為廠務系統氣動設備的氣源及吹淨(Purge)
*HPCDA–黃光區Scanner機台專用(移動平台/使Filter緊靠)
*GN2/PN2-作為部分氣動設備氣源及提供惰性的氣體環境
Pn2主要的功能為吹淨(Purge)
*PO2-提供製程中氧化的作用
*PAR–作為製程中濺渡的傳導介質
*PHE-作為製程中冷卻晶片的氣源
*PH2-提供燃燒,烘烤的作用及其他反應二.特殊氣體供應系統-SpecialtyGasSupplySystem3.气体标签的颜色簡介:
*CDA白色
*GN2PN2橘红色
*PO2黑色
*PHePAr绿色
*PH2红色
*氧化性气体:黑色如O3
*易燃性氣體:红色如SIH4,PH3,H2,….
*毒性氣體:红色如CO,NO,CLF3,….
*腐蝕性氣體:如NH3,SIF4,CL2,….
*惰性氣體:绿色如SF6,C4F8,N2O,….2.特殊氣體特性簡介:
*易燃性氣體:燃點低,一洩漏與其他氣體相混,便易引起爆炸及燃燒
如SIH4,PH3,H2,….

*毒性氣體:反應性極強,強烈危害人體功能,如CO,NO,CLF3,….

*腐蝕性氣體:易與水份起反應而產生酸性物質,有刺鼻,腐蝕,破壞人體的危險
性如NH3,SIF4,CL2,….

*低壓性/保溫氣體:屬黏稠性液態氣體,需包加熱線及保溫棉,將管內的溫度升
高以使其氣化,才能充分供應氣體,如WF6,BCL3,DCS,….

*惰性氣體:又稱窒息性氣體,當洩漏出的量使空氣中含氧量減少至16%~6%以
下時,便會影響人體,甚至死亡,如SF6,C4F8,N2O,….标签的粘贴方式气体标签机台名标签Takeoffpiont号码标签