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三.长度尺寸测量测量的基本概念§2-2量块的检定极限偏差te,长度变动量允许值tv立式光学计检定量块内容一.激光干涉法测表面粗糙度与台阶高度1.1PSI测表面粗糙度 测量时,压电驱动器线性移动参考表面,从而导致两个光束相位发生移动。系统记录不同相位下条纹强度,并综合光强数据,作出随相位变化的光强变化波形。表面高度由以下公式得出: H(x,y)=λ*Ф(x,y)/(4*Π) λ为光源波长,Ф(x,y)是相位。 当条纹图案足够时,这项技术是可靠的。但如果相邻测点高度超过λ/4,半波长的倍数会被忽略。1.2VSI测表面台阶线纹尺的检定移相器(1)平行平面玻璃板(2)翼形板(3)阶梯板其他等厚干涉原理及应用1、原理2、劈尖2、劈尖2、劈尖2、劈尖2、劈尖