锗锡合金和纳米材料的分子束外延生长与表征.docx
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低缺陷InGaAs探测器材料分子束外延生长与表征研究的开题报告题目:低缺陷InGaAs探测器材料分子束外延生长与表征研究一、研究背景红外光是在1.2μm至10μm即可支持通讯与图像传感的波段范围,其中1.3μm和1.55μm的波长是光通信的基本频段。在这些频段中,III-V族材料中的InGaAs被广泛用于光通信和光电探测器应用,因具有低暗电流、高特性温度等特点。而基于分子束外延生长技术的InGaAs材料生长,能够实现高质量材料的制备,有望实现InGaAs探测器的高性能。然而,分子束外延生长过程中会出现很多