预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共11页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

针尖增强拉曼光谱技术原理与系统设计一、技术背景二、基本原理三、针尖增强拉曼光谱系统(二)显微光路的照明/收集方式(二)显微光路的照明/收集方式四、探针的制备五、样品基底六、总结与展望(2)半导体材料检测 随着下一代半导体工艺迈入22nm节点,大量新材料和新工艺得到应用,部分公司已运用TERS开展了对硅、绝缘体上硅和应变硅等材料的纳米尺度应力分布研究,并可推广到其他纳米材料应变过程的研究中。尽管通过偏振控制技术压制远场背景能够显著改善TERS的对比度,但仍未达到工业要求。谢谢!