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衍射极限波面的双剪切干涉测试技术研究
摘要
本研究基于衍射极限波面的双剪切干涉测试技术，通过对传统干涉测试技术的局限性进行分析，设计了一种更为优越的干涉测试技术方法，并对该方法进行了实验验证。实验结果表明，该方法具有测量速度快、测量精度高等优点，能够在实际测量中发挥重要作用。
关键词：衍射极限波面、双剪切干涉测试技术、传统干涉测试技术、测量速度、测量精度
Abstract
Thispaperisbasedontheresearchofthedouble-shearinterferencetestingtechnologyforthediffractionlimitwavefront.Byanalyzingthelimitationsoftraditionalinterferencetestingtechnology,asuperiorinterferencetestingtechnologymethodisdesigned,andthemethodistestedexperimentally.Theexperimentalresultsshowthatthismethodhastheadvantagesoffastmeasurementspeedandhighmeasurementaccuracy,andcanplayanimportantroleinpracticalmeasurement.
Keywords:diffractionlimitwavefront,double-shearinterferencetestingtechnology,traditionalinterferencetestingtechnology,measurementspeed,measurementaccuracy
1.介绍
传统干涉测试技术是一种测量物体光学质量的重要方法，该技术通过利用相位差进行测量，可以非常准确地测量出物体的光学质量。然而，传统干涉测试技术却有一些局限性，比如测量速度慢、测量过程中容易受到环境干扰等。为了解决这些问题，近年来出现了一种新的干涉测试技术，即衍射极限波面的双剪切干涉测试技术。
衍射极限波面双剪切干涉测试技术是基于数学模型和光学系统的理论分析所得，其理论基础非常强大，同时也具有实验验证的确切性。使用该技术进行测试，可以在较短的时间内获取到更精确的测量结果。因此，本研究将就衍射极限波面双剪切干涉测试技术进行深入研究。
2.原理
2.1传统干涉测试技术
传统干涉测试技术是一种利用相位差进行测量的技术，其基本原理是在参考光和被测物体光之间产生干涉条纹，通过对干涉条纹进行分析，可以非常准确地计算出物体的相位信息。传统干涉测试技术主要包括菲涅尔干涉、毛皮条纹干涉、两束干涉等方法。
2.2衍射极限波面双剪切干涉测试技术
衍射极限波面双剪切干涉测试技术是利用衍射理论和高斯光束的特性，使得被测光波能够被分成多个平行的波面，进而分别进行双剪切，以获取被测物体的高精度相位信息。通过衍射效应，在光学系统内依次形成傅里叶变换镜、两个双剪切镜，最后再收敛成点的透镜，形成一种特殊的光路结构，以提取出物体的相位信息。
特别是，在传统干涉测试技术中，物体与光源距离太远时，对测试结果的精度会有所下降，而衍射极限波面双剪切干涉测试技术可以有效地避免这种情况。
3.实验
采用衍射极限波面双剪切干涉测试技术进行了实验，使用工业扫描仪替换传统的干涉仪，使光源和物体可以合理的匹配，从而使我们可以直接通过扫描仪的方式来测量相位信息。利用该方法进行的实验结果表明，测量速度比传统干涉测试技术快，同时测量精度也更高，能够在实际应用中发挥重要的作用。
4.结论
本研究采用基于衍射极限波面的双剪切干涉测试技术，探究替代传统干涉测试技术的方法并进行实验研究。实验结果表明，在测量速度和测量精度方面，该技术都有优越的表现，具有更好的实际应用价值。在后续的研究中，我们将为该技术的进一步推广做进一步的实验和分析研究。