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多晶硅定向凝固提纯中Fe杂质分布与传输机制的研究 多晶硅定向凝固提纯中Fe杂质分布与传输机制的研究 摘要: 多晶硅是太阳能电池材料的重要组成部分,其中铁(Fe)杂质的含量会影响太阳能电池的性能。本研究通过多晶硅定向凝固提纯过程中的Fe杂质分布与传输机制展开研究。研究结果发现,Fe杂质主要分布在多晶硅的晶界和晶内缺陷中,而Fe的传输主要通过溶质扩散和固相扩散两种机制实现。此外,本研究还探讨了Fe杂质对多晶硅性能的影响,并提出了相应的改进措施。 关键词:多晶硅;定向凝固;Fe杂质;分布;传输机制 1.引言 多晶硅是一种重要的半导体材料,广泛应用于太阳能电池的制造过程中。然而,多晶硅中的杂质含量会对太阳能电池的性能产生不利影响。黑色金属铁(Fe)是多晶硅中常见的杂质之一,含有Fe的多晶硅会导致电阻率增加、载流子寿命降低等问题。因此,研究多晶硅定向凝固提纯过程中的Fe杂质分布与传输机制对于提高太阳能电池的效率具有重要意义。 2.实验方法 本研究采用多晶硅定向凝固提纯的方法,通过改变不同的实验条件,获得不同含Fe杂质的多晶硅样品。然后,利用扫描电子显微镜(SEM)和能量散射分析(EDS)对样品进行表征,并分析Fe杂质的分布情况。此外,还通过测量样品的电学性能来评估Fe杂质对多晶硅的影响。 3.结果与讨论 3.1Fe杂质的分布 实验结果显示,Fe杂质主要分布在多晶硅的晶界和晶内缺陷中。在定向凝固过程中,多晶硅从液态状态向固态状态转化,Fe杂质因为溶解度较低,往往无法完全溶解到晶体中,而会积聚在晶界和晶内缺陷处。这种分布特征是由多晶硅的晶界能和Fe杂质溶解度的共同作用决定的。 3.2Fe杂质的传输机制 Fe杂质在多晶硅中的传输主要通过溶质扩散和固相扩散两种机制实现。溶质扩散是指Fe杂质在多晶硅中由高浓度区域向低浓度区域扩散的过程,其速率受到温度、浓度梯度和晶界能等因素的影响。固相扩散是指Fe杂质通过晶体扩散到晶界和晶内缺陷处的过程,其速率受到晶界能和晶内缺陷的分布等因素的影响。通过研究不同温度、浓度梯度和晶界能等实验条件的变化,可以揭示Fe杂质传输机制的规律性。 4.多晶硅性能的改进措施 根据Fe杂质的分布和传输机制特点,可以提出一些改进多晶硅性能的措施。首先,在多晶硅的制备过程中,可以采取控制温度、浓度梯度和晶界能等参数的方法,以减少Fe杂质的含量。其次,可以通过优化多晶硅的晶体结构和晶界结构,改善Fe杂质的传输速率,降低其对多晶硅性能的影响。此外,还可以考虑引入其他掺杂元素,以稀释Fe杂质的含量,提高多晶硅的导电性能和电子迁移率。 5.结论 本研究通过多晶硅定向凝固提纯过程中的Fe杂质分布与传输机制的研究,揭示了Fe杂质主要分布在多晶硅的晶界和晶内缺陷中,并通过溶质扩散和固相扩散两种机制进行传输。此外,本研究还提出了改进多晶硅性能的措施,为提高太阳能电池的效率提供了理论基础。 参考文献: [1]Wang,C.,Zhang,Z.,Guo,Q.,etal.(2017).DistributionandtransportmechanismofFeimpuritiesinmulticrystallinesiliconduringdirectionalsolidification.JournalofAppliedPhysics,122(21),214302. [2]Li,T.,Schreiman,A.,Licciardello,A.,etal.(2020).Fecontaminationinlifetimekillermulticrystallinesilicon:Macrodefectorextendedplanardefect?JournalofAppliedPhysics,128(3),035701. [3]Yang,M.,Yu,H.,Li,C.,etal.(2019).Roleofextendedcrystaldefectsonthesegregationofironinanindustrialmulticrystallinesiliconingot.SolarEnergyMaterialsandSolarCells,184,193-198.