SOI基光耦合器与二维光子晶体研究.docx
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SOI基光耦合器与二维光子晶体研究AbstractSilicon-on-insulator(SOI)basedopto-couplersandtwo-dimensional(2D)photoniccrystals(PCs)aretwoimportantfieldsinphotonics.Inthispaper,wereviewrecentdevelopmentsintheseareas.WebeginbydiscussingthebasicsofSOIbasedopto-couplers,includin
SOI基SiOx柱光子晶体的研究综述报告.docx
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高精度SOI基光子晶体功能器件制备与特性研究摘要本文研究了高精度SOI基光子晶体功能器件的制备和性能,首先介绍了SOI基光子晶体的基本概念和制备方法,然后详细介绍了利用电子束光刻和等离子体刻蚀技术制备光子晶体的工艺步骤,针对不同制备参数的变化对光子晶体的微结构进行了分析。同时,对光子晶体中的缺陷、铺层和交错结构的影响以及衍射效应进行了研究,并采用拉曼光谱测试了光子晶体中各个结构的荧光特性。实验结果表明,制备出的光子晶体具有较好的周期性和光学性能,其缺陷结构和铺层结构对光学性能具有很大的影响。关键词:SOI
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