脉冲阴极弧放电制备PI基低辐射薄膜及其性能研究.docx
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脉冲阴极弧放电制备PI基低辐射薄膜及其性能研究摘要:本文采用脉冲阴极弧放电技术制备了PI基低辐射薄膜。通过扫描电镜、X射线衍射和红外光谱对薄膜表面形貌和结构进行了分析。测试结果表明,PI基低辐射薄膜具有良好的热稳定性和高温抗氧化性能,可以应用于高能辐射环境下的保护材料。关键词:脉冲阴极弧放电;PI基低辐射薄膜;热稳定性;高温抗氧化性能1.引言随着科技的不断发展,在核工业、空间技术、医疗保健等领域中,对辐射防护材料的需求越来越高。由于辐射对材料的影响会导致材料的损伤、老化和性能下降,在这种情况下,研究并制备
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脉冲阴极弧放电制备纳米薄膜的研究摘要本文研究以脉冲阴极弧放电作为制备纳米薄膜的方法,通过调整脉冲宽度和频率,控制纳米薄膜的成核和生长,最终得到了具有优异性能的纳米薄膜。在本文中,我们详细探讨了脉冲阴极弧放电制备纳米薄膜的原理及其优点和应用前景。研究表明,脉冲阴极弧放电具有独特的物理和化学特性,而这些特性正是制备高质量纳米薄膜的关键所在。通过本研究可以为相关领域的开发提供思路和方法。关键词:脉冲阴极弧放电,纳米薄膜,成核生长,优异性能引言在现代科技领域中,纳米技术已经成为研究的热点之一,因为它具有很多特殊的
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真空阴极弧技术制备锆基复合薄膜的研究的综述报告锆基复合薄膜广泛应用于先进的微电子器件制造中。其中的关键技术是真空阴极弧技术,该技术适用于制备各种高质量的复合薄膜。本文将综述真空阴极弧技术制备锆基复合薄膜的研究。锆基复合薄膜由两个或更多不同化学成分的材料组成。这些材料的选择通常是由所需应用的性能和条件决定的。其中,锆硅氮化物(ZrSiN)、氮化锆(ZrN)和氧化锆(ZrO2)等都是常用的锆基复合薄膜材料。真空阴极弧技术是制备锆基复合薄膜的常用方法。这种技术利用电弧在两个金属电极之间产生的高温和高能量,使靶材
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直空阴极弧制备TiAlN薄膜的工艺及性能研究的中期报告中期报告:一、研究概述本研究旨在采用直空阴极弧制备TiAlN薄膜,并探究其工艺参数对其性能的影响,以进一步提高TiAlN薄膜的性能。目前已完成了实验室实际操作,样品制备及初步测试。二、实验过程1.实验材料:TiAlN靶材、硅橡胶衬底、试样片2.实验步骤:(1)将硅橡胶衬底镶嵌在真空室中的样品架上。(2)使用直空阴极弧进行镀膜,设置真空度、电流、电压、基底旋转速度等工艺参数,得到薄膜。(3)使用X射线衍射仪(XRD)测试样品的结晶性。(4)使用扫描电子显
真空阴极弧技术制备锆基复合薄膜的研究的任务书.docx
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