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基于FFT的薄膜厚度干涉测量方法的任务书
一、课题背景
薄膜厚度的测量在工业生产和科学研究中具有广泛的应用，例如在半导体加工、涂层技术、光学探测和医疗领域等。因此，开发一种高精度、高效率的薄膜厚度测量方法具有重要意义。
目前，薄膜厚度测量方法主要有衰减法、透射法、反射法、干涉法等。干涉法由于具有高精度、无接触、全自动化和不受样品形状等限制的优点，成为了薄膜厚度测量的常用方法。基于干涉法的薄膜厚度测量方法包括白光干涉法、激光干涉法、相移干涉法等。
其中，基于FFT的薄膜厚度干涉测量方法是一种基于数字信号处理技术的新兴测量方法，它将数字图像与FFT算法相结合，可以利用图像的频域信息进行测量。该方法具有测量简便、精度高、自动化程度高等优点。
二、研究任务
（一）研究目的
本研究旨在探究基于FFT的薄膜厚度干涉测量方法，建立薄膜厚度测量模型，并分析其精度、可靠性等性能指标，为薄膜厚度测量提供一种新的解决方案。
（二）研究内容
1.了解薄膜厚度及干涉原理；
2.掌握数字图像处理和FFT算法的基本理论和方法；
3.基于FFT算法，建立基于数字图像的薄膜厚度测量模型；
4.设计和制作薄膜样品，进行薄膜厚度测量实验；
5.对测量结果进行精度分析和对比实验，评估该方法的测量精度和可靠性。
（三）研究步骤
1.理论研究与文献综述
了解薄膜厚度测量方法及其发展历程，分析基于FFT的薄膜厚度干涉测量方法的原理及其优缺点。
2.数字图像处理基础技术学习
学习数字图像处理的基础内容，包括数字图像获取、灰度转换、图像滤波、边缘检测等。
3.FFT算法学习与应用
学习FFT算法的基本原理和步骤，掌握FFT算法在数字图像处理中的应用，了解基于FFT的薄膜厚度干涉测量方法的基本流程。
4.薄膜厚度测量模型建立
基于FFT算法，建立数字图像分析与处理模型，并编写相应的软件程序进行实现。
5.实验设计与数据处理
设计薄膜厚度测量实验，对实验数据进行处理与分析。
6.结果分析与总结
对薄膜厚度测量结果进行分析与对比实验，评估基于FFT的薄膜厚度干涉测量方法的测量精度和可靠性，分析该方法的适用范围和未来发展趋势。
三、研究成果
本研究的主要成果将包括以下内容：
1.建立基于FFT的薄膜厚度干涉测量模型；
2.实验验证该方法的测量精度和可靠性；
3.评估该方法的适用性和未来发展趋势。
四、研究意义
通过本研究，可以探究基于FFT的薄膜厚度干涉测量方法的原理和应用，提高薄膜厚度测量的精度和效率，为薄膜厚度测量领域提供一种新的解决方案。此外，该方法也对提高数字信号处理技术和图像分析处理技术的应用水平具有一定的推动作用。