半导体激光自混合干涉测振仪实验系统的研究的任务书.docx

半导体激光自混合干涉测振仪实验系统的研究的任务书
任务书
课题名称：半导体激光自混合干涉测振仪实验系统的研究
一、背景
随着科学技术的进步，激光技术被广泛应用于各个领域。其中，激光测量技术在工业、生态环境、医疗等领域有着广泛的应用。而激光干涉测量技术是一种常用的高精度测量技术，特别是在微小位移与振动测量方面具有很大的优势。半导体激光自混合干涉测振仪是一种新型的测量设备，它将半导体激光自然混合产生的光信号与本体信号相互干涉，得到信号的振动频率等信息。因此，本研究项目旨在建立半导体激光自混合干涉测振仪实验系统，探究其在微小振动测量中的应用。
二、研究内容
1.建立半导体激光自混合干涉测振仪实验系统：本项目将设计、制作并调试半导体激光自混合干涉测振仪实验系统，建立合适的实验平台，以保证实验精度和稳定性，并对设备进行长时间稳定性测试。
2.验证半导体激光自混合干涉测振仪的测量性能：通过控制不同的振动幅度与频率，对实验系统进行测试和验证，测量并分析半导体激光自混合干涉测振仪的灵敏度、线性度以及寿命等测量性能，并对测量误差进行分析。
3.探究半导体激光自混合干涉测振仪在微小振动测量中的应用：通过使用实验系统进行微小振动测量，研究半导体激光自混合干涉测振仪在微小振动测量中的应用，验证半导体激光自混合干涉测振仪的实用性和应用前景。
三、研究内容与技术路线
1.研究内容
探究半导体激光自混合干涉测振仪在微小振动测量中的应用。
2.技术路线
（1）设计并制作半导体激光自混合干涉测振仪实验系统；
（2）使用实验系统进行振动测量和测量性能校验；
（3）对测量误差进行分析和处理，提高测量精度和稳定性；
（4）研究半导体激光自混合干涉测振仪在微小振动测量中的应用。
四、研究计划
1.第一年
（1）学习光电技术的基础知识和半导体激光自混合干涉测振仪测量原理；
（2）设计半导体激光自混合干涉测振仪实验系统；
（3）制作实验系统并进行相应测试和调试。
2.第二年
（1）研究半导体激光自混合干涉测振仪的测量性能；
（2）对实验系统进行长时间稳定性测试并进行测量误差分析与处理；
（3）探究半导体激光自混合干涉测振仪在微小振动测量中的应用。
3.第三年
（1）对实验结果进行分析和总结；
（2）编写研究报告和相关论文；
（3）准备参加相关的学术会议和专业期刊发表论文等。
五、预期成果
通过本研究项目的完成，期望得到以下预期成果：
1.建立了半导体激光自混合干涉测振仪实验系统，对其进行了测量性能校验和长时间稳定性测试，并对测量误差进行了分析。
2.验证了半导体激光自混合干涉测振仪在微小振动测量中的应用，探究了半导体激光自混合干涉测振仪的实用性和应用前景。
3.发表相关论文，并有望参加相关学术会议，以交流和分享研究成果。
六、参考文献
[1]张齐;陈森锁.气动式半导体激光自混合干涉测振仪的研究[J].激光与光电子学进展,2007,44(07):0202-0206+0219.
[2]GOEBLENJ.锟镒蒭日氐纳酶?br>[J].AppliedOptics,1975,14(9):2235-2238.
[3]SCHUEPBACHE.,GERBERH.B.,等.SubnanometerMOStransistorgate-dielectricthicknessmetrologyusingdifferentialinterferometry[J].JournalofVacuumScience&TechnologyBMicroelectronics&NanometerStructures,1995,13(5):2140-2143.
[4]罗清柏,林宸榕,张书维,等.激光自混合干涉测量技术应用综述[J].激光技术,2015,39(2):143-147.
[5]王珏.半导体激光自混合干涉测量和激光干涉光谱的研究[D].北京:北京邮电大学,2018.