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一款大量程、高线性度MEMS电容加速计闭环读出电路的研究与设计的中期报告
本文将介绍一款大量程、高线性度MEMS电容加速计闭环读出电路的中期研究与设计报告。
1.电路设计原理
MEMS电容加速计常用在飞行器、导弹、汽车等需要高精度加速和姿态控制的领域。该电容加速计可将加速度变化转换成几乎线性的电容变化，并通过闭环电路实现控制和读出。本电路采用CMOS工艺，主要由放大器、ADC、功率放大器和电容加速计组成。内部反馈电阻和电容可以对电路增益进行调整和稳定；功率放大器可以将信号转换成足够大的电压，以便于后续处理。ADC为SAR结构，具有高线性度和低噪声特性。
2.电路设计图
设计图如下：
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|Voltage|
|Amplifier|
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|SARADC|
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|PowerAmpli-|
|fier|
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|Capacitive|
|Accelero-|
|meter|
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3.主要参数
电路整体工作电压：1~5V
加速计量程：±2g、±5g、±10g、±20g
电路增益：1~1000
ADC分辨率：12bits
数据采样率：100~1000Hz
4.目前进展
目前，我们已经完成了电路原理图和PCB设计，并进行了工艺流程仿真，确保了电路性能可靠、工艺可行。接下来，我们会进行初步验证和测试，并进行一些调试和优化工作。
5.后续计划
在本研究项目的后续工作中，我们将会进行更加严格的测试和验证，以保证电路的性能和可靠性。也会对某些关键参数进行进一步的优化和调整，以适应特定的工作环境和应用需求。
6.结论
本研究项目设计了一种大量程、高线性度的MEMS电容加速计闭环读出电路，该电路具有高分辨率、高精度和高可靠性等特点。在实际应用场景中，该电路有着广阔的应用前景，可以满足不同领域的加速度和姿态控制需求。