JeT-PECVD制备微晶硅薄膜及特性研究的任务书.docx

JeT-PECVD制备微晶硅薄膜及特性研究的任务书
任务书
任务名称：JeT-PECVD制备微晶硅薄膜及特性研究
任务背景：
微晶硅薄膜是一种新型的材料，具有着普通硅薄膜所不具备的特殊性质。这种薄膜可以应用于各种电子器件中，如太阳能电池、平板显示屏和光伏器件等。因此，该薄膜在国内外具有良好的应用前景。该任务旨在研究JeT-PECVD制备微晶硅薄膜及其特性，为其应用提供技术支撑。
任务目标：
1.深入研究JeT-PECVD制备微晶硅薄膜的机理和工艺条件。
2.探究微晶硅薄膜的物理和化学性质。
3.研究微晶硅薄膜在光伏器件中的应用。
任务内容：
1.搜集国内外相关文献，对JeT-PECVD技术的机理进行分析，并总结出制备微晶硅薄膜的最佳工艺条件。
2.利用JeT-PECVD技术制备微晶硅薄膜，在不同的工艺条件下制备微晶硅薄膜。
3.采用透射电子显微镜（TEM）、拉曼光谱（Raman）等现代测试仪器分析微晶硅薄膜的物理和化学性质。
4.将制备的微晶硅薄膜应用在光伏器件中，研究其转换效率和稳定性等性能指标。
任务步骤：
1.结合文献调研，定制最佳的JeT-PECVD工艺条件，并进行小试实验验证。
2.以最佳工艺条件为基础，设计微晶硅制备比例和制备程序，并制备不同条件下的微晶硅薄膜。
3.利用TEM、Raman等分析工具进行微晶硅薄膜的物性和化学性质测试。
4.利用微晶硅薄膜制备太阳能电池样品，测试其光伏性能。
5.讨论实验结果，确定微晶硅薄膜的最佳制备条件和光伏应用方向，并进行优化。
任务结果：
1.从理论和实验研究上深入解析了JeT-PECVD制备微晶硅薄膜的机理和工艺条件，确定了最佳的制备方案。
2.对微晶硅薄膜的物理和化学性质进行了全面系统的实验验证和分析，并得到了可靠的数据支撑。
3.研制出微晶硅薄膜太阳能电池样品，对其应用性能进行了测试和实际应用情况的探究，为微晶硅薄膜的应用提供了有效的技术支持。
任务周期：
本任务的周期为6个月，共分为三个阶段。第一阶段进行实验设计；第二阶段进行实验操作和测试分析；第三阶段进行实验报告撰写和完善。整个周期内每个阶段各占2个月。
责任人：
本任务负责人为李科技教授，主要负责任务的组织，指导实验操作及数据分析，以及实验报告的撰写和总结。
经费：
本任务所需经费为20万元，其中包括试剂、仪器设备、开销和学生实习费用等。