大口径平面面形子孔径拼接干涉测量技术研究-豆柴文库

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2024-10-15

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大口径平面面形子孔径拼接干涉测量技术研究 Abstract Thelargeapertureflatsurfaceshapesub-aperturesplicinginterferometrytechnologyresearchhasbeenwidelystudiedinthefieldofmetrology.Thistechniquehasbecomeaneffectivemethodformeasuringlargeflatsurfaces.Inthispaper,wediscusstheprinciplesoflargeapertureflatsurfaceshapesub-aperturesplicinginterferometry,includingitsadvantagesanddisadvantages.Wealsoreviewthevariousapplicationsofthistechnique,includingmeasurementofopticalcomponents,flatnesscharacterization,andsurfaceshapeevaluation.Additionally,wediscussthefuturedevelopmentsandpotentialimprovementsinthisfield. Introduction Largeapertureflatsurfacesarewidelyusedinvariousfields,includingoptics,semiconductormanufacturing,precisionengineering,andastronomicaltelescopes.Theaccuratemeasurementoflargeflatsurfacesiscriticalforachievinghighperformanceandqualityintheseareas.Inthepast,traditionalmeasurementmethodssuchasflatnessinterferometry,profilometry,andcoordinatemeasuringmachines(CMMs)werelimitedintheirabilitytomeasurelargeflatsurfacesduetotheirsmallaperturesizesandothertechnicallimitations. Inrecentyears,thelargeapertureflatsurfaceshapesub-aperturesplicinginterferometrytechniquehasbecomeapopularmethodformeasuringlargeflatsurfaces.Thistechniqueisbasedontheprinciplesofinterferometry,anditinvolvesmeasuringsub-aperturesofthelargesurfaceseparatelyandthencombiningthemtogenerateafullaperturemeasurement.Thistechniqueovercomesmanyofthelimitationsoftraditionalmeasurementmethodsandhasbeensuccessfullyappliedinvariousfields. PrinciplesofLargeApertureFlatSurfaceShapeSub-ApertureSplicingInterferometry Thelargeapertureflatsurfaceshapesub-aperturesplicinginterferometrytechniqueisbasedontheprinciplesofinterferometry.Thetechniqueinvolvesmeasuringsub-aperturesofthelargeflatsurfaceandthencombiningthemtogenerateafullaperturemeasurement.Thesub-aperturemeasurementsaretypicallyobtainedusingaFizeauinterferometeroraTwyman-Greeninterferometer. IntheFizeauinterferometer,theflatsurfacetobemeasuredisilluminatedbyamonochromaticlightsou

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