预览加载中，请您耐心等待几秒...

NSTDA非晶硅薄膜太阳能生产工艺流程模板.doc

预览
1/7
2/7
3/7
4/7
5/7
6/7
7/7

在线预览结束，喜欢就下载吧，查找使用更方便

下载提示 文本预览

如果您无法下载资料，请参考说明：

1、部分资料下载需要金币，请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档，再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压，在使用对应软件打开

HYPERLINK"" NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺步骤 TCO涂层玻璃 玻璃磨边机 玻璃清洗 第一次激光刻划 玻璃清洗 负载 气体箱玻璃衬底动力梯负载箱 气体箱负载箱预热炉 非晶/微晶沉积PECVD系统 冷却炉 涂敷薄膜硅玻璃衬底 二次激光刻划 ZnO/AlAg沉积溅射系统 三次激光刻划 层压