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MEMS谐振式电荷传感器的中期报告
本文旨在对MEMS谐振式电荷传感器的研究进行中期报告，包括研究背景、研究目的、研究内容、研究进展和下一步工作计划等方面进行介绍。
1.研究背景
随着传感技术的不断发展，MEMS谐振式电荷传感器作为一种新型传感器，具有灵敏度高、稳定性好、响应速度快等优点，被广泛应用于各个领域。在电荷传感器中，电容式传感器由于其极板间距不易控制，很难精确测量小电荷，因此，开发一种能够精确测量小电荷的MEMS谐振式电荷传感器具有很大的实际意义。
2.研究目的
本研究的目的是设计一种基于MEMS技术的谐振式电荷传感器，包括传感器结构设计、传感器制备工艺、传感器测试等方面的研究，以实现对小电荷的精确测量。
3.研究内容
(1)传感器结构设计
本研究中所设计的MEMS谐振式电荷传感器采用双梁结构，结构如下图所示：
(2)传感器制备工艺
本研究中采用了光刻、蒸发、电镀等工艺，制备出MEMS谐振式电荷传感器样品。
(3)传感器测试
经过制备后，我们对MEMS谐振式电荷传感器进行了测试，包括静态响应测试和动态响应测试。静态响应测试主要是测试传感器的负载、开路时的电容和谐振频率，动态响应测试主要是测试传感器对于小电荷的响应情况。
4.研究进展
经过前期设计、工艺制备和测试，我们成功地制造出MEMS谐振式电荷传感器样品，并进行了初步测试。初步测试结果表明，该传感器对于小电荷的响应灵敏度高，误差较小。
5.下一步工作计划
在下一步工作中，我们将继续优化传感器结构，改进制备工艺，提高传感器的性能。同时，我们将开展更为系统的测试，包括传感器的线性度、稳定性等方面的测试，以全面了解传感器的性能。希望通过不断的研究和优化，将该传感器应用于实际场景中，为各个领域的电荷测量带来更高的精度和可靠性。