射频电感耦合放电模式转变与磁膨胀等离子体双层结构的实验研究的开题报告.docx

射频电感耦合放电模式转变与磁膨胀等离子体双层结构的实验研究的开题报告
射频电感耦合放电模式转变与磁膨胀等离子体双层结构的实验研究的开题报告
一、选题背景
在离子化气体中，存在着各种不同类型的等离子体，其中的磁控等离子体（MCP）因为其在加热时所产生的磁膨胀效应在工程中应用十分广泛。在MCP中，因为气体分子的热膨胀、热扩散等作用，导致了磁控等离子体的双层结构。在MCP中，磁膨胀效应使等离子体与外界的物理现象发生了变化，因此，对于磁控等离子体的研究是非常重要的。
二、研究内容
本研究主要是对于射频电感耦合等离子体放电模式转变与磁膨胀等离子体双层结构进行实验研究。在本研究中，我们将会采用射频电感耦合等离子体放电的方案进行实验，通过测量等离子体中的电子能量分布、离子能量分布、电子密度、离子密度等等不同参数的变化，来研究等离子体放电的模式转变过程。同时，利用磁控等离子体双层结构的特点，对于等离子体中的磁场分布、等离子体压强分布等等参数进行测量，以便揭示等离子体的磁膨胀性质与双层结构特征。
三、研究意义
通过本次研究，我们可以深入了解等离子体的性质与结构，更好地掌握射频电感耦合等离子体放电的模式转变机理。同时，本研究利用磁控等离子体的特点，揭示等离子体的磁膨胀性质与双层结构特征，具有一定的研究意义。这对于相关领域的研究人员来说，都是非常重要与有价值的。
四、研究方法
本次研究采用射频电感耦合等离子体放电方案进行实验。在实验中，通过控制等离子体的参数，例如等离子体中气体的排除速率、等离子体中的磁场分布、等离子体的压强分布等等参数的变化，来研究等离子体放电的模式转变与磁膨胀等离子体双层结构的特点。
五、研究内容的难点和创新点
本次研究中的难点主要在于等离子体放电模式的转变机理的研究，以及等离子体中的磁膨胀效应对于等离子体结构产生的影响的深入探究。同时，本研究采用磁控等离子体的双层结构的特点进行研究，具有一定的创新点。因此，在本研究中，我们将会克服以上难点，深入探究等离子体的性质与特点，为相关领域的研究人员提供有价值的研究内容。
六、研究进展
目前，我们已经建立了射频电感耦合等离子体放电的实验装置，测试了等离子体中的一些基本参数，例如电子、离子密度变化情况，以及等离子体中的磁场分布、压强分布等等参数。下一步，我们将会继续深入研究等离子体的放电模式转变机理，探究磁膨胀等离子体双层结构的特点。我们相信，在我们的共同努力下，一定能够取得预期的研究成果。
七、参考文献
1.张志华.等离子体物理[M].北京：科学出版社，2012
2.李江涛.等离子体物理与技术[M].北京：科学出版社，2016
3.陈宇.理想等离子体研究进展[J].中国物理C，2017，41(2)：02121