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硅基应变器件应力引入方法研究的任务书
任务书
一、任务背景
应变传感器是一种广泛应用于化工、药品、医疗、航空、国防等各个领域中的传感器。硅基应变传感器是目前应变传感器中最常用的一种。硅基应变传感器可以将应变信号转换成电信号输出，其信号输出稳定性高、分辨率高、动态响应快、抗干扰能力强等优点被广泛应用。
在硅基应变传感器的研究中，应力引入方法研究是至关重要的一个方面。应力引入方法不同，硅基应变传感器信号输出也有所不同。因此，如何选择合适的应力引入方法和适当的工艺方案，是硅基应变传感器研究的关键之一。
二、任务目标
本研究任务目标为：
1.系统地研究不同应力引入方法，对比其在硅基应变传感器中的应用情况和优缺点。
2.探究不同工艺方案对不同应力引入方法的影响，分析其优缺点。
3.选择合适的应力引入方法和工艺方案，进一步优化硅基应变传感器的性能和信号输出。
4.撰写研究报告，对选定的应力引入方法进行总结和分析。
三、预期成果
1.对不同应力引入方法进行全面的研究和比较，得出其优缺点和适用范围。
2.探究不同工艺方案对应力引入方法的影响，为硅基应变传感器的优化提供理论依据。
3.根据研究结果，选择合适的应力引入方法和工艺方案，进一步提高硅基应变传感器的性能和信号输出。
4.撰写研究报告，对研究过程进行总结和分析，为该领域的后续研究提供参考。
四、研究内容
1.熟悉硅基应变传感器的基本原理和应力引入方法。
2.对不同应力引入方法进行系统介绍和比较，总结其优缺点。
3.分析应力引入方法的影响因素，探究不同工艺方案对应力引入方法的影响。
4.选择合适的应力引入方法和工艺方案，进行实验研究。
5.对实验结果进行分析和总结，得出结论。
6.撰写研究报告。
五、研究计划
1.第一周：熟悉硅基应变传感器的基本原理和应力引入方法。
2.第二周：对不同应力引入方法进行系统介绍和比较。
3.第三周：分析应力引入方法的影响因素，探究不同工艺方案对应力引入方法的影响。
4.第四周：选择合适的应力引入方法和工艺方案，开始实验研究。
5.第五周：继续实验研究，对实验结果进行分析和总结。
6.第六周：撰写研究报告。
六、参考文献
1.于海涛,张辉,史家腾,等.硅基微应变传感器的研究现状[J].大连理工大学学报,2019,59(3):255-261.
2.蒋百玥,罗浩,欧阳田华,等.硅基应变传感器响应时间的理论分析与实验验证[J].大连理工大学学报,2019,59(6):562-567.
3.马利斌,王世峰,杜楚华.硅基应变传感器的研究进展[J].微电子学与计算机,2019,36(9):28-35.