石英元件损伤修复技术研究的任务书.docx
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元件表面损伤修复装置及元件表面损伤修复方法.pdf
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高负载光学元件损伤修复的在线监测技术研究.docx
高负载光学元件损伤修复的在线监测技术研究高负载光学元件损伤修复的在线监测技术研究摘要:高负载光学元件在工作过程中易受到各种损伤,如激光烧蚀、光学膜剥落等。为了实时监测这些损伤并及时修复,本论文研究了高负载光学元件损伤修复的在线监测技术。该技术结合了光学成像、辐射测量和数据分析等方法,能够实现对光学元件损伤的实时监测和定量分析。实验结果表明,该技术能够有效地监测高负载光学元件的损伤,并在发现损伤时自动启动修复程序,提高了光学元件的使用寿命和工作效能。关键词:高负载光学元件、损伤修复、在线监测、光学成像、辐射