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会计学教材(jiàocái)及参考书引言(yǐnyán)模拟电路(diànlù)与模拟集成电路(diànlù)半导体材料(cáiliào)(衬底)有源器件特性现代主要(zhǔyào)集成电路工艺先进工艺下模拟(mónǐ)集成电路的挑战课程(kèchéng)主题学习(xuéxí)目标第一(dìyī)讲本章(běnzhānɡ)主要内容1、有源器件(qìjiàn)1.1MOS管几何结构(jiégòu)与工作原理(1)MOS管是一个四端口器件 栅极(G):栅氧下的衬底区域为有效工作区(即MOS管的沟道)。 源极(S)与漏极(D):在制作时是几何对称的。 一般根据电荷(diànhè)的输入与输出来定义源区与漏区: 源端被定义为输出电荷(diànhè)(若为NMOS器件则为电子)的端口; 漏端则为收集电荷(diànhè)的端口。 当该器件三端的电压发生改变时,源区与漏区就可能改变作用而相互交换定义。 衬底(B):在模拟IC中还要考虑衬底(B)的影响,衬底电位一般是通过一欧姆p+区(NMOS的衬底)以及n+区(PMOS衬底)实现连接的。MOS管的主要几何尺寸 沟道长度L: CMOS工艺的自对准特点,其沟道长度定义(dìngyì)为漏源之间栅的尺寸,一般其最小尺寸即为制造工艺中所给的特征尺寸; 由于在制造漏/源结时会发生边缘扩散,所以源漏之间的实际距离(称之为有效长度L’)略小于长度L,则有L’=L-2d,其中L是漏源之间的总长度,d是边缘扩散的长度。 沟道宽度W:垂直于沟道长度方向的栅的尺寸。 栅氧厚度tox:则为栅极与衬底之间的二氧化硅的厚度。MOS管可分为增强型与耗尽型两类: 增强型是指栅源电压VGS为0时没有导电沟道,必须依靠栅源电压的作用,才能形成感生沟道。 耗尽型是指即使在栅源电压VGS为0时也存在导电沟道。 这两类MOS管的基本(jīběn)工作原理一致,都是利用栅源电压的大小来改变半导体表面感生电荷的多少,从而控制漏极电流的大小。以增强型NMOS管为例: 截止区:VGS=0 源区、衬底和漏区形成两个(liǎnɡɡè)背靠背的PN结,不管VDS的极性如何,其中总有一个PN结是反偏的,此时漏源之间的电阻很大。 没有形成导电沟道,漏电流ID为0。 亚阈值区:Vth>VGS>0线性区:VGS≥Vth且VDS<VGS-Vth 形成反型层(或称为感生沟道) 感生沟道形成后,在正的漏极电压作用下产生漏极电流ID 一般把在漏源电压作用下开始导电时的栅源电压叫做开启电压Vth 外加较小的VDS,ID将随VDS上升迅速增大,此时为线性区,但由于沟道存在电位梯度(tīdù),因此沟道厚度是不均匀的 注意:与双极型晶体管相比,一个MOS器件即使在无电流流过时也可能是开通的。饱和区:VGS≥Vth且VDS≥VGS-Vth 当VDS增大到一定数值(VGD=Vth),靠近漏端被夹断。 VDS继续增加,将形成一夹断区,且夹断点向源极靠近,沟道被夹断后,VDS上升时,其增加的电压基本上加在沟道厚度为零的耗尽区上,而沟道两端的电压保持不变,所以ID趋于饱和。 当VGS增加时,由于沟道电阻的减小,饱和漏极电流会相应增大。 在模拟电路集成电路中饱和区是MOS管的主要工作区 击穿区:若VDS大于击穿电压BVDS(二极管的反向击穿电压),漏极与衬底之间的PN结发生反向击穿,ID将急剧增加,进入雪崩区,此时漏极电流不经过(jīngguò)沟道,而直接由漏极流入衬底。MOS管的表示(biǎoshì)符号1.2MOS管的极间电容(diànróng)(1)-“本征栅电容(diànróng)”栅极与导电沟道构成一个(yīɡè)平板电容(栅极+栅氧+沟道),即:CGC=WLεOX/tox=WLCOX 可以将之视为集总电容,即:CGS=CGD=(1/2)CGC 改变任一电压都将改变沟道电荷 耗尽型电容CCB(沟道+耗尽层+衬底)形成了源极与漏极到衬底的电容,不过经常忽略。假设长沟道模型,工作于饱和区时如改变源极电压,则有: 在漏极端口的栅与沟道的电压差保持不变(Vth),但源极端口的电压差发生了改变。 这意味着电容的“底板”不是(bùshi)均匀改变。 详细的分析可以得到此时Cgs=(2/3)WLCOX 假设长沟道模型,工作于饱和区时如改变漏极电压则不会改变沟道电荷,即Cgd=0(忽略二次效应及外部电容)。不存在导电沟道: 栅到衬底间的电容等效为栅氧电容与耗尽(hàojìn)电容的串联。 如果栅电压为负,则耗尽(hàojìn)层变薄,栅与衬底间电容增大。 对于大的负偏置,则电容接近于CGC。1.2MOS管的极间电容(1)栅与沟道之间的栅氧电容: C2=WLCox,其中Cox为单位面积栅氧电容εox/tox; 沟道耗尽层电容: 交叠(jiāodié)电容(多晶栅覆盖源漏区所形成的电容