硅氧薄膜的制备及其在硅薄膜太阳电池中应用的初步研究的任务书.docx
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硅氧薄膜的制备及其在硅薄膜太阳电池中应用的初步研究的任务书任务书任务名称:硅氧薄膜的制备及其在硅薄膜太阳电池中应用的初步研究任务目的:本任务旨在研究硅氧薄膜的制备方法,并探讨其在硅薄膜太阳电池中的应用,为太阳能转化领域的技术研究提供实验数据和基础知识。任务内容:1.硅氧薄膜的制备方法研究:1.1硅氧化物溅射制备工艺的研究,包括溅射气体组成、溅射参数调节和薄膜性能分析等内容。1.2热氧化法制备硅氧化物的研究,包括气氛控制、退火温度和时间的控制等方面。1.3比较以上两种制备方法的优劣,并提出改进措施。2.硅薄
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