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新型MEMS磁敏传感器的研究的任务书
任务书
1.背景
磁敏传感器是一种高精度、高灵敏度的传感器，能够感应周围的磁场变化并将其转化为电信号输出。在汽车、航空航天、工业自动化等领域中，磁敏传感器的应用非常广泛。目前市场上已经存在多种类型的磁敏传感器，其中包括MEMS磁敏传感器，这种传感器具有体积小、功耗低、响应速度快和低成本等优点，因此备受关注。
2.研究目的与意义
本研究旨在研究新型MEMS磁敏传感器的设计、制备及其性能测试，掌握其工作原理和特点，为MEMS磁敏传感器在实际应用中提供有力支撑。
同时，通过研究新型MEMS磁敏传感器，可以有效地提高其磁场检测的灵敏度和精度，从而增强其在汽车、航空航天、工业自动化等领域中的应用价值，为实现智能制造、互联网+等战略目标做出贡献。
3.研究内容
（1）了解MEMS磁敏传感器的基本原理及其分类。
（2）设计新型MEMS磁敏传感器的结构和电路，制备研究所需要的MEMS磁敏传感器的样品。
（3）对新型MEMS磁敏传感器的性能进行测试和评估，主要包括灵敏度、精度、响应时间、工作温度、磁场范围等。
（4）对测试结果进行分析，总结评价新型MEMS磁敏传感器的优缺点。
（5）研发可兼容多种协议的MEMS磁敏传感器驱动芯片，提升MEMS磁敏传感器的应用性能和实用性。
4.研究计划及进度安排
本研究计划总时限为18个月，具体进度安排如下：
第1-2个月完成MEMS磁敏传感器的基本原理及分类的了解。
第3-5个月完成新型MEMS磁敏传感器的结构和电路设计。
第6-9个月完成新型MEMS磁敏传感器的样品制备和性能测试。
第10-12个月完成新型MEMS磁敏传感器测试结果的分析和总结评价。
第13-16个月研发可兼容多种协议的MEMS磁敏传感器驱动芯片。
第17-18个月完成实验数据整理和论文撰写。
5.研究预期成果
（1）深入了解MEMS磁敏传感器的基本原理及其分类，提高了本领域的学术水平。
（2）设计并制备出一种新型MEMS磁敏传感器，并对其性能进行有效测试和评估。
（3）总结评价新型MEMS磁敏传感器的优缺点，为该领域的发展提供参考。
（4）研发了可兼容多种协议的MEMS磁敏传感器驱动芯片，提升MEMS磁敏传感器的应用性能和实用性。
（5）发表或申请专利若干篇，提升研究人员的学术水平和研究团队的影响力。
6.参考文献
[1]徐鹏飞,张鸿涛,张春阳等.4.2.1MEMS磁敏传感器的基本原理及分类[J].微型机与应用,2016,35(1):10-14.
[2]GergelyNagy,JózsefSzalmás,LaszloTóth等.NovelmagneticsensitivityenhancingmethodforMEMSbasedmagnetometers[J].SensorsandActuatorsA:Physical,2014,223:1-7.
[3]俞大春.MEMS磁敏传感器及其在测量中的应用[J].现代测量技术,2018,38(4):62-68.