组合化学法制备PZT铁电薄膜及性能研究的任务书.docx

组合化学法制备PZT铁电薄膜及性能研究的任务书
任务书
1.任务概述
随着现代电子技术的发展，铁电薄膜在信息存储、传感器等领域得到了广泛应用。PZT铁电薄膜具有优异的铁电性能，是一种重要的铁电材料。本任务的目的是通过组合化学法制备PZT铁电薄膜，并研究其性能。
2.任务内容
（1）文献调研：对PZT铁电材料的研究现状进行调查与分析，掌握最新的制备方法和性能表征技术。
（2）样品制备：采用组合化学法制备PZT铁电薄膜样品，并结合不同工艺条件制备多组样品。
（3）性能测试：对制备的PZT铁电薄膜样品进行测试，包括铁电性能、压电性能、介电性能、电学稳定性等。
（4）性能分析：根据测试数据，分析不同工艺条件下PZT铁电薄膜的性能差异，并找出优化方案，改进制备工艺，提高薄膜性能。
3.任务进度
（1）第一周：开展PZT铁电材料的文献调研，并制定实验测试方案。
（2）第二周：采用组合化学法制备PZT铁电薄膜样品，制备5组样品。
（3）第三周：对PZT铁电薄膜样品进行铁电性能测试，并分析性能数据。
（4）第四周：对PZT铁电薄膜样品进行压电性能、介电性能、电学稳定性等测试，并分析性能数据。
（5）第五周：根据测试数据，总结优化方案，并进行制备工艺改进。
（6）第六周：制备新的PZT铁电薄膜样品，并进行性能测试，验证制备工艺改进的效果。
（7）第七周：对新制备的PZT铁电薄膜样品进行性能分析，撰写实验报告。
4.任务要求
（1）文献调研：要求查阅包括SCI和EI等数据引擎在内的可信数据源，对目前PZT铁电材料领域的研究进展和最新成果进行深入了解，并提出独立见解。
（2）样品制备：要求准确操作实验设备，并结合不同工艺条件制备多组PZT铁电薄膜样品，保证样品质量和样品数量。
（3）性能测试：要求精细操作测试设备，准确测量各项性能参数，保证测试数据的准确性。
（4）性能分析：要求透彻分析测试数据，找出不同工艺条件下PZT铁电薄膜的性能差异，并制定合理的改进方案。
（5）报告撰写：要求撰写结构严谨、逻辑性强、表述清晰的实验报告，准确说明实验过程、测试结果和性能分析。
5.任务成果
完成本任务后，要求提交如下成果：
（1）一份《PZT铁电薄膜制备及性能研究实验报告》，不少于2000字，要求结构清晰、表述准确、逻辑性强。
（2）一份PPT汇报，展示PZT铁电薄膜制备及性能研究的主要内容和成果。
（3）一份PZT铁电薄膜制备的工艺流程图。
（4）一份PZT铁电薄膜性能测试数据及分析结果。
6.任务资源
（1）实验设备：包括组合化学反应炉、沉积仪、磁控溅射仪、电子显微镜、光电子显微镜、电学测试仪等。
（2）实验材料：PZT前驱体、ITO透明导电玻璃基片、有机溶剂等。
（3）实验经费：3000元。
7.参考文献
[1]GongW,LiH,ZhangC,etal.FabricationandcharacterizationofPZTthinfilmsbysol-gelmethod[J].JournalofAlloysandCompounds,2009,470(1):442-446.
[2]QuX,YangY,ChenW,etal.Fabricationandcharacterizationofhighly(202)-preferredorientedPZTthinfilmonsiliconsubstrate[J].JournalofAlloysandCompounds,2010,500(2):110-113.
[3]ZhengXG,ChooFL,ChoiWK.PZTthinfilmfabricationandferroelectricpropertiesondifferentsubstratesbysol-gelmethod[J].MaterialsScienceandEngineering:B,2012,177(7):526-530.