预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/3
2/3
3/3

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

多片式MOCVD系统温度控制方法研究与实现的任务书 任务题目:多片式MOCVD系统温度控制方法研究与实现 任务背景: 多片式MOCVD系统是一种用于半导体材料生长的关键设备。在生产实践中,温度控制是多片式MOCVD系统关键技术之一,其直接关系到半导体材料的质量和利润。因此,对多片式MOCVD系统的温度控制方法进行深入研究,是促进半导体材料生长技术发展的必要手段。 任务目标: 本任务的目标是研究多片式MOCVD系统的温度控制方法,并实现该方法的软、硬件设计,进行系统测试,验证温度控制效果。 任务内容: 1.多片式MOCVD系统温度控制方法的研究和分析。主要包括: (1)多片式MOCVD系统的控制结构及控制器选择。 (2)半导体材料的生长和配方对实验样品的温度控制要求。 (3)多片式MOCVD系统各关键部位的温度控制原理和方法。 2.温度控制方法的软、硬件设计。主要包括: (1)温度控制系统软件设计,包括基于嵌入式系统的控制算法编写、PID控制器参数设定。 (2)温度控制系统硬件设计,包括模数转换器、显存控制器、功率输出模块等的设计、制作和调试。 3.测试和验证。主要包括: (1)将软、硬件模块组合成完整的温度控制系统,进行温度控制验证。 (2)对实验样品在不同温度控制模式下进行生长和分析,比较样品的物理性质。 成果要求: 1.多片式MOCVD系统的温度控制方法分析和论文,包括测试结果的分析与总结。 2.温度控制系统软、硬件设计,并进行实现和测试。 3.多片式MOCVD系统温度控制方法的实现和验证,包括各温度控制模式测试结果和分析。 任务时间: 本任务的总时间约为6个月。其中,前期将以文献调研和数据分析为主,约占任务总时间的30%;后期将集中进行软、硬件设计和测试,约占任务总时间的70%。 任务费用: 本任务的经费约为20万人民币,主要用于硬件设备、实验材料和测试费用。其中,硬件设备费用约为10万人民币,实验材料费用约为3万人民币,测试费用约为7万人民币。 任务组织: 本任务的主体研究团队由5名硕士研究生组成。其中,3名负责系统设计和实现、1名负责硬件设计和制作、1名负责实验材料采购和测试。任务组织将由项目组长负责协调和管理。 任务评估: 本任务的评估将以研究成果的质量和实用性为主要考核指标,其中,成果的质量占30%权重,实用性占70%权重。同时,对任务组织和管理工作也将给予一定的评价。评估结果将由任务组长汇总并提交给主管部门。