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AlGaN沟道异质结材料与器件研究的任务书 任务书 申报人:XXX 任务名称:AlGaN沟道异质结材料与器件研究 任务背景: AlGaN沟道异质结材料具有广泛的应用前景,其高电子迁移率和宽带隙能够使其在高功率/高频RF器件中发挥出色表现。然而,由于其与其他III-V族化合物半导体的结合能相差巨大,AlGaN材料的缺陷密度较高,阻碍了器件性能的进一步提高。 任务目标: 为了克服上述难题,本任务的主要目标是研究AlGaN沟道异质结材料与器件,其中包括以下几个方面: 1.通过调节物质的生长参数,以及使用新型表面修饰技术,降低材料上的缺陷密度和表面粗糙度。同时,对不同工艺下成长的样品进行光电学和结构学性质表征,以确定优化的生长参数。 2.设计、制备和表征高质量AlGaN沟道异质结材料的晶体管器件。对器件进行性能测试,比较不同样品之间的性能差异,进一步确定最优的物质生长参数。 3.研究AlGaN沟道异质结光电器件的性能,并开发潜在的高速光电器件。其中包括设计和制备具有微纳米尺度结构的AlGaN异质结,优化器件性能,并对其进行光电学测试。 4.扩展应用,将研究结果应用到相关领域。在理论计算、器件制造技术、薄膜技术等领域进行探索和研究,为材料和器件设计提供依据。 任务计划: 任务的计划总时长为3年。计划周期内的主要任务如下: 第一年:对AlGaN沟道异质结材料进行生长,通过表征技术确定不同生长参数下的光电学和结构学性质,比较不同样品之间的性能差异,以确定生长最优条件,同时制备高质量AlGaN沟道异质结材料的晶体管器件,对其进行性能测试和比较。 第二年:研究AlGaN沟道异质结光电器件的性能,设计和制备具有微纳米尺度结构的AlGaN异质结,优化器件性能,并对其进行光电学测试,探索在高速光电器件领域的应用。 第三年:扩展应用,将研究结果应用到相关领域。在理论计算、器件制造技术、薄膜技术等领域进行探索和研究,为材料和器件设计提供依据。 任务成果: 1.关于AlGaN沟道异质结材料中缺陷和表面粗糙度的研究报告,包括根据不同生长条件下的材料性能进行分析,以及确定最优物质生长参数的技术报告。 2.高质量AlGaN沟道异质结材料的晶体管器件,包括性能测试报告和对其进行比较的研究报告。 3.AlGaN沟道异质结光电器件的研究报告,包括探索在高速光电器件领域的应用。 4.用于相关领域的应用的技术和开发成果的研究报告。 预期影响: 1.对AlGaN沟道异质结材料的缺陷和表面粗糙度的研究可以为制备高性能和低损耗材料以及高频/高功率器件的制造提供重要的理论和技术基础。 2.光电器件的研究可用于开发高速光电器件的新技术和新产品,这些技术和产品对通信、计算机、光纤通信等领域产生积极影响。 3.在应用领域,本研究可广泛应用于军事、医疗、安全、环境监测、航空和能源等领域。