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FBAR器件模型和若干应用技术的研究的任务书
任务书
题目：FBAR器件模型和若干应用技术的研究
一、研究背景和意义
随着移动通信、卫星通信、雷达信号处理等领域的发展与应用，射频滤波器逐渐成为关键器件之一。继传统数字滤波器和带通滤波器之后，表面扭曲波滤波器（Surfaceacousticwavefilters，SAW）和压电滤波器（FBAR）也逐渐被广泛应用于射频前端滤波器。而其中，FBAR是一种晶体谐振器设备，具有高品质因子、广带宽和高集成度等优势，已被广泛用于射频块和网络的频率选择功能。
FBAR器件模型和若干应用技术的研究，对理解其物理机制、提高其性能和应用范围等具有非常重要的意义。当前FBAR器件研究主要聚焦在降低损耗和提高品质因子，以及在新型集成电路系统中的应用。但随着技术的不断发展和应用的深入，其它问题也开始浮现，比如性能稳定性、制程可控性、加工效率以及与其它设备集成等问题。因此，FBAR器件模型和若干应用技术的研究，不仅有助于进一步提高其性能和应用范围，也对FBAR器件产业的发展具有现实意义。
二、研究内容
1.FBAR器件的物理模型和理论分析。
2.FBAR器件的制备工艺和加工流程，包括成膜技术、小孔制备技术、制备参数优化等。
3.FBAR器件的性能表征和测试技术。
4.基于FBAR器件的应用技术研究，如实现多窗口滤波、应用于波束形成和宽带接收机指标等。
5.FBAR器件在新型集成电路系统中的应用技术研究，并且结合现有先进应用技术，如混合集成和SOC（systemonchip）技术等进行研究。
三、研究计划
1.第一年：开展FBAR器件的物理模型和理论分析研究，包括材料分析、器件结构设计和优化，初步掌握器件制备工艺和加工流程。
2.第二年：开展FBAR器件的制备技术研究，包括成膜技术、小孔制备技术、制备参数优化等。建立FBAR器件的性能测试体系。
3.第三年：开展基于FBAR器件的应用技术研究，包括实现多窗口滤波、应用于波束形成和宽带接收机指标等。研究FBAR器件在新型集成电路系统中的应用技术，探索混合集成和SOC技术等。
4.第四年：进一步开展FBAR器件性能的优化和进一步降低损耗。深入研究FBAR器件制程可控性和稳定性，并结合其它设备进行集成应用，探索其它高性能、高可靠性应用领域。
四、研究成果与可行性
1.成果：
（1）建立FBAR器件的物理模型和理论分析研究方法，提供了制备和应用的依据；
（2）完善了FBAR器件的制备技术和加工流程，提高了器件的性能和稳定性；
（3）初步探索基于FBAR器件的应用技术，提高了器件的应用价值和市场竞争力。
2.可行性：
本项目的研究课题及研究方向具有可行性，该方向的各项研究内容均已或正在得到国内外学术领域高度关注，国内外研究机构和企业都对此感兴趣，并有在该方向进行系统性研究和应用性开发的计划。
五、研究经费和周期
1.研究经费：本项目所需经费为200万元人民币。
2.研究周期：本项目研究周期为四年。
六、团队组建
项目团队成员包括博士生、硕士生和教师，项目主要研究者应具备一定的FBAR器件理论和实验研究经验，同时在射频前端滤波器、集成电路系统和射频信号处理等研究方向上有着扎实的基础和纵深的研究能力。
七、参考文献
[1]KaushikMukherjeeandMohamedI.Younis,“Analoganddigitalfilters:Introductiontosignalprocessing”,NewDelhi:CRCPress,2018.
[2]S.M.SzeandMing-KweiLee,“SemiconductorDevices:Physicsandtechnologyfourthedition”,NewYork:Wiley-India,2016.
[3]R.W.DuttonandW.M.C.Sansen,“HandbookofSemiconductorManufacturingTechnologysecondedition”,Florida:CRCPress,2017.
[4]ChristensonGR,“FundamentalsofCeramicPowderProcessingandSynthesis”,NewYork:Elsevier,2016.
[5]RamNarayan,R.N.DwivediandKuldeepS.Rawat,“RFandMicrowaveFiltersforCommunicationsandSignalProcessing”,NewYork:CRCPress,2018.