内容提供者
穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法.pptx
2024-10-09
20金币
2.2MB
27页
快乐****蜜蜂
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共27页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法.pptx
穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法目录添加章节标题误差源的分类穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的分类分类依据和标准各类误差源的特点和影响误差源的简化分析方法简化分析方法的提出分析方法的原理和步骤简化分析方法的优势和应用范围误差源的测量和评估测量误差源的方法和工具测量步骤和注意事项误差源的评估标准和结果分析误差源的减小和补偿减小误差源的方法和措施误差补偿的方法和原理补偿效果的评估和优化误差源对成像质量的影响误差源对成像质量的影响方式和程度成像质量的评估标准和测试方法提高成像质量的措施和建议结论和建议对简化分析方
2024-10-09
20
2.2MB
快照式穆勒矩阵椭偏仪相位延迟量误差的通用校准方法.pdf
本发明属于精密光学测量仪器系统参数校准领域，并具体公开了一种快照式穆勒矩阵椭偏仪相位延迟量误差的通用校准方法，其包括如下步骤：S1、按预设相位延迟器厚度比搭建快照式穆勒矩阵椭偏仪，然后对三组标准样品进行测量，得到三组测量光谱；S2、分别对三组测量光谱进行频域分析得到频域信号，对频域信号进行分通道处理得到多阶频率通道，再根据相位延迟器厚度比对频率通道进行选择；S3、对选择的频率通道进行波数域分析计算，获得各频率通道对应的测量光谱三角函数展开式的实频、虚频系数，进而得到各相位延迟器的相位延迟量误差。本发明能准
2023-11-01
10
1.3MB
基于液晶调相的垂直物镜式穆勒矩阵成像椭偏仪.pdf
本发明属于纳米尺度下几何参数测量装置领域，并公开了基于液晶调相的垂直物镜式穆勒矩阵成像椭偏仪，包括起偏光路单元和检偏光路单元，所述起偏光路单元，用于将外部光源模块出射的光束进行偏振态调制后得到偏振态的光束，再将偏振态的光束投射到待测样品表面；所述检偏光路单元，用于将待测样品表面的反射光束进行偏振态分析，从而得到待测样品的信息。本发明不仅达到了光学显微镜接近光学极限的横向分辨率，还继承了椭偏测量中量级的纵向分辨率，同时基于垂直物镜成像的设计思路从根本上避免了普通倾斜镜面成像系统中焦深小、视场窄的现象，实现纳
2023-11-02
10
1.4MB
旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法.pdf
本发明属于精密光学测量仪器系统校准相关技术领域，其公开了一种旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法，该方法包括：将旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪的成像透镜和物镜分别更换为1/4标准波片和反射镜；多次旋转所述1/4标准波片的方位角，并从旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪的探测器处分别获取多个方位角下的光强信息；对光强信息进行傅里叶分析获得光强信息的傅里叶系数；建立光强信息的傅里叶系数与待校准系统参数的关系模型；不断调整关系模型中待校准系统参数的取值，直至关系模型中的傅里叶系数与上述傅里叶系数的误差在预设范围内则此时待校
2023-11-01
10
1.5MB
一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法.pdf
本发明公开了一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法，属于光学测量技术领域。该光学测量方法搭建全穆勒矩阵椭偏仪的实验光路，对全穆勒矩阵椭偏仪进行局部回归校准，将待测样品置于样品台上，得到待测样品的实验傅里叶系数，根据待测样品的实验傅里叶系数，得到待测样品的信息。由于该全穆勒矩阵椭偏仪的校准方法不仅操作过程简单，而且充分利用了全穆勒矩阵椭偏仪同次测量数据，引入的误差相对较小，校准得到的参数更加准确，进而，对待测样品进行测量时，测量结果更加准确。因此，该光学测量方法的过程得到简化。
2023-11-03
10
1.1MB