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高介电氧化铪薄膜的制备与性能研究.pptx
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高介电氧化铪薄膜的制备与性能研究.pptx
,目录PartOne化学气相沉积法物理气相沉积法溶胶-凝胶法脉冲激光沉积法PartTwo介电常数和介质损耗机械性能和热稳定性环境稳定性光学性能PartThree微电子器件传感器太阳能电池光学器件PartFour工艺参数优化掺杂改性研究多层结构设计与制备表面处理技术PartFive材料复合与掺杂薄膜结构调控表面改性技术热处理与退火工艺PartSix新材料探索与合成新工艺开发与优化应用领域拓展与交叉学科融合面临的挑战与展望THANKS
2024-10-09
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