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ZnO材料的MOCVD生长、掺杂及相关物性研究的任务书 任务书:ZnO材料的MOCVD生长、掺杂及相关物性研究 一、研究背景 氧化锌(ZnO)材料具有许多优异的电学、光学、催化、生物医药等特性,因此在现代科技中有着广泛的应用。例如,ZnO材料在太阳能电池、发光二极管、传感器、光电导、电化学电容器等领域都有着广泛的应用。是因为其在UV-Vis光谱中有着明显的光吸收峰,同时其能带结构允许掺杂的出现,不同掺杂会产生不同的元素电子态,从而导致ZnO的电学、光学等性质的变化。因此,对于ZnO生长、掺杂以及相关物性的研究,不仅是理论上的发展需要,也是实践上的需求。 目前,为了实现对ZnO材料的精准控制,移动化学气相沉积法(MOCVD)已经成为了主流的制备方法。MOCVD可以在相对较低的温度下,在晶体表面沉积出具有高度晶化程度和稳定性的ZnO晶体膜。此外,掺杂是ZnO材料研究中重要的一环。掺杂可以改变ZnO的性质,例如增大光电导率、改变材料的电子结构、使材料呈现半导体性质等。因此,MOCVD与掺杂成为了ZnO材料研究中至关重要的部分。 二、研究目的 本研究旨在利用MOCVD技术对ZnO材料进行生长,并通过掺杂改变材料的性质。具体包括以下几点: 1.利用MOCVD技术制备具有高质量的ZnO薄膜; 2.通过掺杂不同原子(例如Li、Al、Cu、Fe等)来改变ZnO材料的电学、光学、磁学等性质; 3.探究掺杂对ZnO晶体结构的影响; 4.从以上研究中分析ZnO材料在电子、光学、磁性等方面的应用潜力。 三、研究内容 1.MOCVD制备高质量ZnO薄膜 利用化学气相沉积方法,在具有合适晶体结构的衬底(例如Si、ZnO、Al2O3等)上制备高质量的ZnO薄膜。为了控制膜层质量,需要对比研究不同的生长条件(温度、压力、载气量、沉积速率等),并进行XRD、SEM、TEM等表征。 2.掺杂制备掺杂ZnO薄膜 采用化合物源或者金属源进行掺杂,例如采用氧化物化合物源,将其中掺杂原子在MOCVD生长过程中进行氧化物分解和ZnO晶格的替代,从而掺杂到ZnO晶体中。同时,可以通过控制掺杂原子的浓度改变ZnO晶体的性质。 3.分析掺杂对ZnO晶体结构的影响 通过XRD、TEM、EDS等方法分析掺杂对ZnO晶体结构的影响,探究掺杂后性质变化的原理和机制。 4.分析不同掺杂对ZnO材料电学、光学、磁学等性质的影响 通过IV测试、光电子能谱测试、磁性测试等分析不同掺杂对ZnO材料电学、光学、磁学等性质的影响。对于具有优异性能的ZnO材料进行进一步应用研究探究。 四、研究意义 本次研究主要目的在于探究ZnO材料利用MOCVD技术生长和掺杂后的物理性质,通过制备掺杂ZnO薄膜并进行物性表征,该研究具有以下意义: 1.提高ZnO的制备技术 通过利用MOCVD制备高质量ZnO薄膜,并进行分析改善和优化制备技术,提高ZnO材料的制备效率和质量。 2.探究ZnO掺杂后的性质 本次研究通过掺杂不同原子对ZnO材料性质的改变,探究掺杂对ZnO晶体结构和性质的影响,从而为ZnO应用研究提供基础理论。 3.发掘ZnO的应用潜力 本次研究通过掺杂ZnO材料探究其电学、光学、磁学等性质,为ZnO在电子、光电器件、传感器、光电医学等领域的应用提供科学基础和技术支持。 五、研究进度与任务分配 本次研究预计历时两年完成。具体研究进度与任务分配如下: 第一年:利用MOCVD制备高质量的ZnO薄膜,并进行表征。探究不同掺杂对ZnO晶体结构和性质的影响。 第二年:分析不同掺杂对ZnO材料电学、光学、磁学等性质的影响,并进行进一步应用研究。 任务分配: 1.第一年:负责利用MOCVD制备高质量的ZnO薄膜,进行表征,探究不同条件下ZnO生长的影响。组内1名博士生负责。 2.第一年和第二年:负责探究不同掺杂对ZnO晶体结构和性质的影响。组内1名博士生负责。 3.第二年:负责分析不同掺杂对ZnO材料电学、光学、磁学等性质的影响,并进行进一步应用研究。组内1名博士生负责。 4.第一年和第二年:指导学生进行实验,帮助学生完成实验,并对实验数据进行分析和处理。项目负责人负责。 5.项目实验室日常管理、学术交流组织等由项目负责人负责。