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AlGaN基深紫外发光材料及器件研究的任务书 任务书 一、研究背景 随着信息技术的不断发展,对深紫外发光材料和器件的需求越发迫切。AlGaN材料由于其广泛的带隙调节能力和高电子迁移率而成为最佳选择,具有优异的性能。由此开展AlGaN基深紫外发光材料及器件的研究具有重要的应用价值。 二、研究目标 本研究的目标是制备高质量AlGaN基深紫外发光材料及器件,并研究其光学电学性能及机理。 三、研究内容 1.制备方法优化 通过分析AlGaN材料的制备工艺及物理化学性质,对制备方法进行优化,提高材料质量。 2.材料表征与性能研究 利用激光光电子能谱(LA-ICP-MS)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段对材料进行表征,分析材料的结构、形貌和成分;利用紫外-可见吸收光谱、激发发光和光电流测试等技术,研究材料的光学和电学性能。 3.器件制备与性能测试 利用激光器蒸发技术或分子束外延技术制备深紫外发光器件,通过测试器件的光谱、光功率、量子效率等性能指标,研究器件的光电性能和制备工艺,进一步探讨其物理机理。 四、研究方法 本研究将采用制备材料、表征、性能测试等方法,探究AlGaN基深紫外发光材料及器件的制备与性能,具体如下: 1.利用激光器蒸发技术和分子束外延技术制备AlGaN基深紫外发光材料和器件。 2.利用激光光电子能谱(LA-ICP-MS)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段对材料进行表征和分析,了解材料的结构、形貌和成分。 3.利用紫外-可见吸收光谱、激发发光和光电流测试等技术,研究材料的光学和电学性能。 4.制备深紫外发光器件,并测试器件光谱、光功率、量子效率等性能指标,分析器件的光电性能和制备工艺,进一步探讨其物理机理。 五、研究成果要求 1.制备高质量AlGaN基深紫外发光材料及器件。 2.对制备工艺进行优化,并提出适合工业化生产的方法。 3.通过表征手段对所制备材料的结构、形貌和成分进行分析,了解材料的性质。 4.通过光电性能测试和机理探究,得出深紫外发光器件的性能特征和制备工艺方法,为深紫外光电器件的发展提供研究基础。 六、研究时间安排 本研究时间为两年。 第一年:完成AlGaN材料制备优化,完成材料表征和性能研究; 第二年:完成AlGaN基深紫外发光器件制备,完成器件性能测试;撰写研究报告。 七、参考文献 1.ChenP,LiX,JuJ,etal.AlGaN-baseddeepultravioletlight-emittingdiodes[J].MaterialsScienceandEngineering:R:Reports,2021,146:100594. 2.ZhangJ,HeY,ZhaoZ,etal.ProgressandprospectofAlGaN-baseddeepultravioletlight-emittingdiodes[J].JournalofSemiconductors,2020,41(4):040801. 3.ZhuJ,WangY,ZhangJ,etal.Deepultraviolet-lightemittingdiodebasedonAlGaNquaternarylayerviametalorganicchemicalvapordeposition[J].AppliedSurfaceScience,2021,541:148454.