立方AlN薄膜的激光分子束外延法制备及性能研究的任务书.docx

立方AlN薄膜的激光分子束外延法制备及性能研究的任务书
任务书
一、任务背景
随着半导体材料科学的不断发展，AlN材料作为一种重要的宽禁带半导体材料，在电子学、光电子学、化学、生物等领域具有重要的应用价值。AlN材料的光电特性优良，具有高热导率、高硬度、高抗腐蚀性等特点，因此在高功率半导体激光器、高亮度LED、功率半导体器件等方面有广泛的应用。
目前，制备AlN材料的方法主要有物理气相沉积、化学气相沉积和分子束外延法等。其中，分子束外延法因其得到高质量、高完整晶界的单晶AlN薄膜而备受重视。
二、主要任务
本次任务的主要目标是使用激光分子束外延法制备立方AlN薄膜，并研究其性能。具体任务如下：
1.搭建激光分子束外延系统
搭建激光分子束外延法制备立方AlN薄膜的实验系统，并对实验系统进行测试与调试，以保证实验可以正常进行。
2.制备立方AlN薄膜
使用激光分子束外延法制备立方AlN薄膜，并针对反应过程中的参数进行调整，以获得高质量的AlN薄膜。
3.测试AlN薄膜的物理性质
使用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等技术测试立方AlN薄膜的晶体结构、表面形貌以及物理性质等。
4.测试AlN薄膜的光电性质
利用光学分光光度计、荧光光谱仪等设备对AlN薄膜的光电性质进行测试，包括吸收光谱、激发光谱等，并研究其光学带隙、折射率等光学性质。
三、任务周期
本次任务的周期为六个月，其中：
前两个月主要用于搭建激光分子束外延实验系统，并对系统进行测试。
接下来的两个月，将进行立方AlN薄膜的制备，并对反应过程进行多次调整，以获得高质量的AlN薄膜。
其余两个月将进行物理性质和光电性质的测试和分析，并撰写任务报告。
四、任务要求
1.团队成员要具有优秀的实验技能，能够熟练操作分子束外延实验系统，对反应过程进行合理的调整。
2.要有一定的研究基础和实验经验，能够熟练操作物理性质测试仪器和光电性质测试仪器，并进行数据处理和分析。
3.要有良好的团队沟通合作能力，能够协作完成任务，并及时撰写任务报告。
4.在任务进行的过程中，需要认真做好实验记录和资料整理，确保数据的准确和完整。
五、任务成果
1.完成激光分子束外延法制备立方AlN薄膜实验系统的搭建。
2.获得高质量的立方AlN薄膜，并进行物理性质和光电性质的测试和分析。
3.撰写任务报告，详细介绍任务各阶段的实验过程和结果，并提出进一步研究的建议。