化学气相沉积TiN薄膜工艺优化及其性能研究的任务书.docx

化学气相沉积TiN薄膜工艺优化及其性能研究的任务书
任务书：
1.任务背景及目的
化学气相沉积TiN薄膜工艺是一种非常重要的制备工艺，可以在各种贵金属、半导体和陶瓷材料上制备出薄膜。为了进一步提高薄膜质量和提高工艺的性能，需要对该工艺进行优化和性能研究。本次任务的目的是优化化学气相沉积TiN薄膜工艺，并研究其性能，为薄膜应用提供技术支持。
2.任务内容
(1)根据实验和文献综合分析，确定合理的化学气相沉积TiN薄膜工艺流程；
(2)描述每个步骤的工艺参数，包括气体流量、反应温度等，并确定一组优化参数；
(3)基于优化参数，制备化学气相沉积TiN薄膜，并研究其物理化学性质；
(4)对化学气相沉积TiN薄膜的成分、结构和形貌进行表征；
(5)研究化学气相沉积TiN薄膜的性能，包括硬度、耐腐蚀性、摩擦系数和抗磨损性等；
(6)分析化学气相沉积TiN薄膜的微纳结构和晶体结构与硬度、耐腐蚀性等性能之间的关系；
(7)根据实验和文献研究结果，提出化学气相沉积TiN薄膜工艺优化和性能提升的建议。
3.任务要求
(1)熟练掌握化学气相沉积TiN薄膜的制备技术和表征方法；
(2)了解硬度测试、抗腐蚀性、磨损性测试等薄膜性能测试方法；
(3)能够熟练操作工艺设备，并能独立进行薄膜制备和表征；
(4)具有较强的实验设计和数据分析能力；
(5)能够根据实验数据，结合文献综述，提出工艺优化和性能提升方案。
4.预期结果
(1)确定化学气相沉积TiN薄膜的优化制备工艺和参数；
(2)深入研究化学气相沉积TiN薄膜的成分、结构和形貌，揭示其成膜机理；
(3)强化化学气相沉积TiN薄膜的性能，包括硬度、耐腐蚀性和抗磨损性等；
(4)提出化学气相沉积TiN薄膜工艺优化和性能提升建议，为薄膜应用提供技术支持。
5.实现途径
(1)查阅文献，对化学气相沉积TiN薄膜的制备和表征方法进行梳理和学习；
(2)设计实验方案，独立进行化学气相沉积TiN薄膜的制备和表征；
(3)依据实验结果和文献分析，提出化学气相沉积TiN薄膜的工艺优化和性能提升建议；
(4)撰写实验报告，展示研究成果。
6.时间安排
(1)熟悉文献和实验室基础：2周
(2)设计实验方案和制备化学气相沉积TiN薄膜：4周
(3)进行薄膜表征和性能测试：4周
(4)分析数据和撰写实验报告：2周
总计：12周
7.经费预算
本次研究所需经费为50,000元，包括实验室耗材、薄膜制备设备的使用费用和实验员工资等。其中，化学气相沉积设备使用费为20,000元，实验室耗材费为15,000元，工资支出为15,000元。若发现需要额外支出，需通过实验负责人申报预算，并得到批准。