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AlGaNAlNGaN异质结场效应晶体管中极化库仑场散射机制变温研究的任务书 任务书 题目:AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管中极化库仑场散射机制变温研究 背景及研究意义: 晶体管是当今电子电路中最重要的器件之一,其应用广泛,例如射频功率放大器、低噪声放大器、混频器、开关等领域。其中,栅极氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)是最主要的一类晶体管,其制造工艺成熟,非常稳定,价格也较为适中。 然而,在一些高电压、高频率的应用场景下,MOSFET的性能不能满足需求,而高电子迁移率晶体管(HEMT)则是更加适合的选择。HEMT的基本原理是利用半导体异质结实现了空间电荷填充层(SPS)的限制,从而解决了MOSFET中漏电流问题。GaN材料由于具有较大的能带间隙和电子迁移率、较高的饱和漂移速度,因此成为一种非常理想的HEMT材料。 然而,伴随着HEMT的性能提高,器件的可靠性却随之降低。其中一个重要因素是由于高电场导致极化效应和库仑场效应。在高电场下,材料中电子和晶格进行相互作用,可能导致各种本征和杂质缺陷,极化和压电效应等。因此,HEMT材料和结构的优化,能够减弱极化和库仑场效应,并提高器件的可靠性和性能。 本研究旨在深入探究AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管中极化库仑场散射机制变温效应,并试图寻找解决方案。具体任务如下: 任务一:通过建立AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管的模型,研究其在高电场下的物理机制。利用自洽计算的方法,研究极化效应和库仑场效应对能带结构和电子输运性质的影响。 任务二:通过设置不同温度下的模型参数,模拟AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管的性能变化。利用图表等方式将模拟结果进行分析和展示,探究其性能变化规律。 任务三:通过采用各种形式的散射机制,模拟AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管中的加热效应,验证温度变化对极化场效应和库仑场效应的影响,并进一步研究这些现象的物理机制。也可通过变化组分比和制备工艺等方式实验验证。 任务四:针对研究过程中发现的问题,提出解决方案,并进一步探究优化HEMT材料和结构、提高器件可靠性和性能的方法,以期为HEMT器件的研究和开发提供一定的参考和支持。 研究条件及方法: 本研究需利用第一性原理计算模拟、射频微波器件测试仪、气相沉积等实验设备。具体工作方法包括计算方法、器件模拟设计、器件加工和测试等。 计算方法:利用霍恩伯格-卡恩-修正平面波(HCK)方法进行第一性原理计算模拟,以得出AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管的能带结构和输运特性。可采用VASP等第一性原理计算软件,同时,为了研究温度变化对材料性能的影响,需要对基础的材料参数、模型参数进行不同温度下的设定和计算。 器件模拟设计:在考虑温度变化下的情况下,搭建基于AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管的模拟设计模型。根据任务一、任务二中的计算结果,进一步研究导致性能变化的机制。 器件加工和测试:将模拟设计的器件加工出来,利用微波器件测试仪进行深入的测试,从而得到实验数据。实验数据的分析与计算模拟结果相结合,可以得到更全面、更准确的研究结果。 预期成果: 通过本研究,预计可以得到以下几个方面的成果: 1.研究了AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管在高电场下的物理机制,并发现极化效应和库仑场效应对电子输运性质的影响。 2.通过模拟温度变化下的AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管的性能变化规律,探究温度变化对极化场效应和库仑场效应的影响,有助于设计更稳定、更可靠的HEMT器件。 3.研究了AlGaN/AlN-GaN异质结场效应晶体管中极化库仑场散射机制变温效应,为高电场下材料的研究提供参考。 4.提出解决方案,探究优化HEMT材料和结构、提高器件可靠性和性能的方法,为HEMT器件的发展提供新的思路。 本研究所获得的成果对于电子器件特别是高功率、高频率的电子器件、光电器件的应用和发展具有强烈的推动作用。