液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤研究.pptx
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汇报人:CONTENTS添加章节标题液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤类型表面粗糙度表面缺陷表面形貌表面化学状态液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤机制表面能与表面张力表面扩散与迁移表面反应与氧化表面应力与应变液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤影响因素薄膜厚度生长温度溶液组成与浓度溶液pH值添加剂与表面活性剂液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤控制方法优化制备工艺表面处理技术表面改性技术表面涂层技术液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤研究展望表面损伤对性能的影响机制表面损伤修复与增强技术表面损伤与器件性能关系研究汇报人:
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液相外延碲镉汞薄膜表面的结晶类缺陷分析01添加章节标题液相外延技术液相外延技术简介液相外延技术原理液相外延技术应用结晶类缺陷类型表面粗糙度晶粒大小不均晶体取向偏离晶体缺陷密度结晶类缺陷形成原因原料纯度不足温度梯度影响表面活性剂使用不当溶剂蒸发速率控制不当结晶类缺陷对薄膜性能的影响光学性能影响电学性能影响机械性能影响环境稳定性影响结晶类缺陷的改善措施提高原料纯度优化温度梯度控制选择合适的表面活性剂控制溶剂蒸发速率其他措施感谢观看
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本发明公开了一种碲镉汞垂直液相外延样品架。它是在样品架平面上,存在顶端和左右两侧三条闭合的覆盖压条,以及底端固定夹具。三条覆盖压条和夹具都有与样品架平面成45度的斜面,与衬底边缘接触。夹具通过紧固螺丝固定在样品架平面上。该样品架适用于碲镉汞垂直液相外延生长,衬底夹持固定时,覆盖压条包覆压紧衬底的上部和左右两侧,能从正面就开始阻止外延时母液渗入到衬底背面,夹具压紧衬底底端,覆盖压条和夹具的共同作用能把衬底紧紧地平贴在样品架平面上,减小衬底背面与样品架平面的间隙,阻止外延生长时母液渗入到衬底背面,从而消除外延
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