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感应耦合等离子体放电特性三维模拟.pptx
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,目录PartOnePartTwo感应耦合等离子体的应用领域放电特性的研究现状与问题研究目的与意义PartThree研究内容与技术路线数值模拟方法与模型建立实验设计与实验方法PartFour放电等离子体的形态与分布电场、电流和粒子速度的分布特性放电过程中的能量转化与传递机制PartFive实验结果与模拟结果的对比分析实验误差与不确定度分析实验验证的结论与意义PartSix研究结论与成果总结研究不足与局限性分析未来研究展望与改进方向THANKS
2024-10-04
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