氮化物半导体纳米薄膜结构增强场发射及其机理研究.pptx
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汇报人:/目录0102氮化物半导体的特性纳米薄膜结构对场发射性能的影响增强场发射的机理研究03物理气相沉积技术化学气相沉积技术溶胶-凝胶法其他制备方法04在显示领域的应用在太阳能电池领域的应用在传感器领域的应用在其他领域的应用05研究结论研究不足与展望汇报人:
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AlGaN纳米薄膜结构调控及其场发射性能研究中期报告AlGaN纳米薄膜是一种有着广泛应用前景的新型材料,具有良好的机械、电学和光学性能。本研究旨在通过调控AlGaN纳米薄膜的结构,探究其场发射性能。首先,本研究采用分子束外延法制备AlGaN纳米薄膜,探究不同的生长条件对薄膜形貌和结构的影响。实验结果表明,生长温度、AlN含量和生长时间是影响纳米薄膜形貌和结构的主要因素。随着生长时间的增加,AlGaN纳米薄膜的表面均匀性和结晶度逐渐提高;而在一定的AlN含量范围内,生长温度的升高有利于缩小AlGaN晶粒尺寸