激光辐照下铜薄膜疲劳损伤愈合特性研究.pptx
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基于激光修复处理下铜薄膜疲劳损伤愈合的研究综述报告概述铜薄膜广泛应用于半导体工业,但由于应用过程中的疲劳损伤,导致电子器件性能下降甚至失效。为此,研究者开展了对于铜薄膜的疲劳损伤修复研究,使其恢复正常功能。本文将基于激光修复处理下铜薄膜疲劳损伤愈合的研究综述,主要包括铜薄膜疲劳损伤的形成、激光修复处理的原理和机制、激光修复处理实验研究成果等方面。1.铜薄膜疲劳损伤的形成铜薄膜在半导体器件制作过程中广泛应用,但其疲劳损伤现象不可避免。疲劳损伤是由重复循环加载和去载荷引起的金属微观弹性应变,导致再结晶过程分布