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硅微纳结构的制备及其光机电功能化目录添加目录项标题硅微纳结构制备技术制备方法概述化学气相沉积法物理气相沉积法溶胶-凝胶法硅微纳结构的光学功能化光波导器件光子晶体光子晶体光纤光学传感器硅微纳结构的力电功能化压电器件传感器技术执行器技术能量收集技术硅微纳结构的热电功能化热电偶器件热电发电机热电冷却器热电材料性能优化硅微纳结构的生物医学应用生物传感器药物输送系统组织工程和再生医学生物成像和诊断技术硅微纳结构的应用前景和挑战技术发展前景实际应用挑战未来研究方向感谢观看