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基于Level Set的硅湿法刻蚀模拟研究.pptx
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汇报人：目录PARTONEPARTTWO硅湿法刻蚀技术的重要性当前刻蚀模拟方法的局限性和挑战LevelSet方法在流体模拟中的应用PARTTHREELevelSet方法的基本原理LevelSet方法在流体界面捕捉中的应用LevelSet方法在硅湿法刻蚀模拟中的适用性分析PARTFOUR模型建立与参数选择算法实现流程与关键技术与传统方法的比较和优势分析PARTFIVE模拟结果展示与分析实验验证与误差分析结果可靠性评估与改进方向PARTSIX研究成果总结与贡献对未来研究的建议与展望THANKYOU
2024-10-02
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2024-10-15
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