半导体制造技术--离子注入工艺.pptx

Chapter8离子注入目标离子注入简介掺杂半导体：扩散沉积掺杂氧化层氧化驱入剥除和清洗
栅极的对准失误离子注入控制离子注入的应用阻滞机制两种阻滞机制阻滞机制阻滞机制阻滞功率与离子速度投影射程通道效应碰撞后的通道效应问与答损害制程掺杂物原子掺杂物原子掺杂物原子掺杂物原子掺杂物原子掺杂物原子掺杂物原子掺杂物原子退火前快速加热步骤和高温炉退火问与答离子注入机注入制程射频离子源微波离子源

离子布质机的质谱仪BF3电浆中的离子问与答后加速系统离子束轨迹弯曲电荷中性化系统带电效应电荷中性化系统电子枪晶圆处理器
CMOS离子注入规范离子注入制程制程争点晶圆带电晶圆带电监测天线比例粒子污染物粒子污染物的效应元素污染制程评估四点探针热波系统热波系统热波系统光学量测系统(OMS)离子注入：化学安全
技术的趋势超浅型接面(USJ)软误差a-粒子造成的电子—电洞对形成硅覆盖绝缘层结构高温退火电浆浸置型离子注入电子回旋共振电浆浸置型离子注入系统离子注入概要离子注入概要离子注入概要9、静夜四无邻，荒居旧业贫。。10月-2410月-24Friday,October4,2024
10、雨中黄叶树，灯下白头人。。16:03:2916:03:2916:0310/4/20244:03:29PM
11、以我独沈久，愧君相见频。。10月-2416:03:2916:03Oct-2404-Oct-24
12、故人江海别，几度隔山川。。16:03:2916:03:2916:03Friday,October4,2024
13、乍见翻疑梦，相悲各问年。。10月-2410月-2416:03:2916:03:29October4,2024
14、他乡生白发，旧国见青山。。04十月2024下午4时3分29秒16:03:2910月-24
15、比不了得就不比，得不到的就不要。。。十月24下午4时3分10月-2416:03October4,2024
16、行动出成果，工作出财富。。2024年10月4日星期五4时3分29秒16:03:2904October2024
17、做前，能够环视四周；做时，你只能或者最好沿着以脚为起点的射线向前。。下午4时3分29秒下午4时3分16:03:2910月-24
9、没有失败，只有暂时停止成功！。10月-2410月-24Friday,October4,2024
10、很多事情努力了未必有结果，但是不努力却什么改变也没有。。16:03:2916:03:2916:0310/4/20244:03:29PM
11、成功就是日复一日那一点点小小努力的积累。。10月-2416:03:2916:03Oct-2404-Oct-24
12、世间成事，不求其绝对圆满，留一份不足，可得无限完美。。16:03:2916:03:2916:03Friday,October4,2024
13、不知香积寺，数里入云峰。。10月-2410月-2416:03:2916:03:29October4,2024
14、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。04十月2024下午4时3分29秒16:03:2910月-24
15、楚塞三湘接，荆门九派通。。。十月24下午4时3分10月-2416:03October4,2024
16、少年十五二十时，步行夺得胡马骑。。2024年10月4日星期五4时3分29秒16:03:2904October2024
17、空山新雨后，天气晚来秋。。下午4时3分29秒下午4时3分16:03:2910月-24
9、杨柳散和风，青山澹吾虑。。10月-2410月-24Friday,October4,2024
10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。16:03:2916:03:2916:0310/4/20244:03:29PM
11、越是没有本领的就越加自命不凡。10月-2416:03:2916:03Oct-2404-Oct-24
12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。16:03:2916:03:2916:03Friday,October4,2024
13、知人者智，自知者明。胜人者有力，自胜者强。10月-2410月-2416:03:2916:03:29October4,2024
14、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。04十月2024下午4时3分29秒16:03:2910月-24
15、最具挑战性的挑战莫过于提升自我。。十月24下午4时3分10月-2416:03October4,2024
16、业余生活要有意义，不要越轨。2024年10月4日星期五4时3分29秒16:03:2904October2024
17、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。下午4时3分29秒下午4时3分16:03:2910月-24