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汇报人:目录PARTONEPARTTWO抛光垫的定义和作用集群磁流变效应抛光垫的原理抛光垫的分类和特点PARTTHREE抛光垫的物理特性抛光垫的化学特性抛光垫的力学特性抛光垫的磁学特性PARTFOUR抛光垫对工件表面的影响抛光垫对抛光液的作用机理抛光垫对抛光过程的影响因素抛光垫的优化设计方法PARTFIVE在光学领域的应用提高芯片表面质量 降低芯片表面粗糙度 提高芯片表面平整度 提高芯片表面光洁度 提高芯片表面精度 提高芯片表面均匀性 提高芯片表面稳定性 提高芯片表面可靠性 提高芯片表面耐久性 提高芯片表面抗腐蚀性 提高芯片表面抗磨损性 提高芯片表面抗疲劳性 提高芯片表面抗冲击性 提高芯片表面抗辐射性 提高芯片表面抗高温性 提高芯片表面抗低温性 提高芯片表面抗湿性 提高芯片表面抗化学性 提高芯片表面抗生物性 提高芯片表面抗电磁性 提高芯片表面抗静电性 提高芯片表面抗污染性 提高芯片表面抗老化性 提高芯片表面抗疲劳性 提高芯片表面抗冲击性 提高芯片表面抗辐射性 提高芯片表面抗高温性 提高芯片表面抗低温性 提高芯片表面抗湿性 提高芯片表面抗化学性 提高芯片表面抗生物性 提高芯片表面抗电磁性 提高芯片表面抗静电性 提高芯片表面抗污染性 提高芯片表面抗老化性 提高芯片表面抗疲劳性 提高芯片表面抗冲击性 提高芯片表面抗辐射性 提高芯片表面抗高温性 提高芯片表面抗低温性 提高芯片表面抗湿性 提高芯片表面抗化学性 提高芯片表面抗生物性 提高芯片表面抗电磁性 提高芯片表面抗静电性 提高芯片表面抗污染性 提高芯片表面抗老化性 提高芯片表面抗疲劳性在金属表面处理领域的应用在其他领域的应用PARTSIX国内外研究现状和发展趋势面临的挑战和问题未来研究展望和研究方向建议THANKYOU