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CoTaZr薄膜及其在薄膜电感器中的应用研究的任务书
任务书：CoTaZr薄膜及其在薄膜电感器中的应用研究
一、选题背景和意义
现代电子技术的发展，对电感器的性能要求越来越高。传统的线圈式电感器存在体积大、自漏电感大、制造成本高等缺点，无法满足现代较高端的电子产品的需求。而薄膜电感器具有体积小、自漏电感小、高频响应快等优点，因此被广泛应用于无线通信、雷达、移动通信等领域。
CoTaZr合金薄膜作为薄膜电感器材料的一种，具有高磁饱和感应强度、高饱和磁场、低磁导率、低矫顽力、高抗腐蚀性、高联接力等优异的磁性能。目前，该合金已经被广泛应用于磁存储元件、传感器和微波器件等领域。但是，在薄膜电感器方面的研究还相对较少，因此有必要对其在薄膜电感器中的应用进行研究。
本课题的研究将对薄膜电感器的性能和结构进行深入研究，对于提高薄膜电感器的性能有着重要的意义。同时，该研究还有望为其他薄膜电子元件的研究提供新思路和方法。
二、研究内容和方法
1.研究目标
本课题旨在研究CoTaZr薄膜在薄膜电感器中应用的可能性及其对薄膜电感器性能的影响。
2.研究内容
（1）CoTaZr薄膜的制备工艺和材料表征：通过采用磁控溅射法，制备CoTaZr薄膜，并利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、拉曼光谱等技术对其进行形貌、结构和晶体学等方面的表征。
（2）CoTaZr薄膜电感器的制备：通过对CoTaZr薄膜进行湿蚀，制作出CoTaZr薄膜电感器，并对其进行元件参数的测试和分析。
（3）薄膜电感器性能的测量和分析：利用阻抗分析和网络分析等方法，对CoTaZr薄膜电感器的电感值、品质因数、自谐振频率等参数进行测试和分析，并评估其性能。
3.研究方法
本课题将采用以下研究方法：
（1）实验室制备CoTaZr薄膜，利用SEM、XRD、拉曼光谱等技术对其表征。
（2）利用制备的CoTaZr薄膜构建薄膜电感器，测试元件参数。
（3）通过对测试数据的分析和比较，评估CoTaZr薄膜在薄膜电感器中的应用效果。
三、研究进度和时间安排
1.研究进度安排
第一年：（1）CoTaZr薄膜的制备工艺和材料表征；（2）利用制备的CoTaZr薄膜构建薄膜电感器，测试元件参数。
第二年：（1）薄膜电感器性能的测量和分析；（2）评估CoTaZr薄膜在薄膜电感器中的应用效果。
2.时间安排
第一年：制备CoTaZr薄膜（3个月）、CoTaZr薄膜的表征（3个月）、制备薄膜电感器（3个月）、测试元件参数（3个月）。
第二年：测试电感器性能（6个月）、评估CoTaZr薄膜在薄膜电感器中的应用效果（6个月）。
四、预期成果
（1）完成CoTaZr薄膜在薄膜电感器中的应用研究，建立一套适用于薄膜电感器的制备和性能测试技术。
（2）揭示CoTaZr薄膜对薄膜电感器性能的影响机理。
（3）为薄膜电感器的应用提供新思路和方法。
五、预算和经费支持
本课题所需的经费主要包括器材设备购置费、材料费、试剂费、差旅费和科研人员工资等，共计50万元。
六、研究团队
本课题研究团队由硕士研究生4人、教授1人和副教授1人组成，研究团队成员将分工合作，确保项目的顺利开展和完成。
七、参考文献
[1]KimDY,KimTW,LeeYB,etal.Co-Ta-ZrAlloyThinFilmsforMagneticRecordingMediaandReadHeads[J].JournalofMagnetismandMagneticMaterials,2000,214(1):L1-L5.
[2]ZhangJ,LiJX,ShiWS,etal.CoTaZr/CoFeBexchange-springbilayerwithstrongbiasfield[J].JournalofAlloysandCompounds,2009,475(1):546-548.
[3]郭海翔.使用淀积铝电极的ZnO透明导电薄膜电自旋谐振器[J].物理学报,2018,67(5):057502.