基于MEMS微振镜技术的激光像源驱动电路的研究与实现的中期报告.docx
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基于MEMS微振镜技术的激光像源驱动电路的研究与实现的中期报告Abstract:Inthisreport,wepresentourprogressintheresearchandimplementationofalaserimagesourcedrivingcircuitbasedonMEMSmicro-mirrortechnology.OurworkincludesthedesignandfabricationofaMEMSmicro-mirror,aswellasthedevelopmentandte
基于MEMS技术的光栅光阀和扭转微镜的研究与应用的中期报告.docx
基于MEMS技术的光栅光阀和扭转微镜的研究与应用的中期报告中期报告一、研究背景和意义随着微纳电子技术、光学技术和机电一体化技术的不断发展,MEMS技术作为一种新型微机电系统技术,已经在光电科学和技术领域得到广泛应用。MEMS技术的光学应用主要是指利用MEMS微加工工艺制作光学元件,例如光机电系统、光栅光阀以及扭转微镜等,这些器件可以应用在微光学成像、光通信、生物医学等领域。光栅光阀是一种基于MEMS技术的微型可编程光学器件。它通过利用可移动式光栅进行光阻调制,可以控制光的透射和反射,实现光阀功能。该器件具
基于MEMS技术的无阀压电微泵的研究的中期报告.docx
基于MEMS技术的无阀压电微泵的研究的中期报告尊敬的评委、老师,大家好。我是XXX,本次报告的主题为“基于MEMS技术的无阀压电微泵的研究”。一、研究背景在微流控领域,微泵作为微流控系统中的关键组件之一,其重要性不言而喻。传统的微泵主要包括电泵、压力泵、微型隔膜泵等,但都存在着较大的缺陷,如体积大、噪音大、调节复杂等等。而压电微泵作为新型微泵之一,因其结构简单、体积小、易调节等特点,发展前景广阔,在医疗、环保、生命科学等领域应用广泛。近年来,随着MEMS技术的迅速发展,压电微泵的研究也在不断深入。本研究旨
一种基于MEMS振镜的激光雷达发射系统.pdf
本发明公开一种基于MEMS振镜的激光雷达发射系统包括脉冲激光器准直发射模块、MEMS振镜、反射镜、旋转马达和衍射分束元件;所述脉冲激光器准直发射模块发射准直激光;所述MEMS振镜、所述脉冲激光器准直发射模块、所述反射镜和所述衍射分束元件对应设置,使得所述准直激光入射到所述MEMS振镜的镜面上发生反射形成反射光;所述反射光入射到所述反射镜上,经过所述反射镜的反射进一步入射到所述衍射分束元件上,形成均匀的若干发散光束;所述反射镜和所述旋转马达连接,所述旋转马达可带动所述反射镜转动;本发明通过调整所述旋转马达的
高频隐藏式压电驱动MEMS微镜研究的开题报告.docx
高频隐藏式压电驱动MEMS微镜研究的开题报告一、选题背景与意义微型电机系统(MEMS)广泛应用于光学、机械、电子、生物等领域,其中微型镜片的研究是MEMS技术中研究的重点之一。MEMS微镜一般采用电力驱动技术,但电力驱动技术存在能量损失大、动态响应速度慢等问题。在现有的电力驱动技术中,压电材料驱动技术是较为先进的一种技术,它具有能量转换效率高、体积小、结构简单等优点。本文提出的高频隐藏式压电驱动MEMS微镜研究是基于压电驱动技术的一种新型思路,可为MEMS微镜的应用提供一种更加优越的驱动技术。二、研究内容