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高可靠性非接触式RFMEMS压电开关的设计与加工的中期报告
非接触式RFMEMS压电开关广泛应用于微波和毫米波系统，具有以下优点：快速响应时间、低插入损耗、高隔离度和稳定的耐久性。本文介绍了高可靠性非接触式RFMEMS压电开关的设计和加工过程，并提供了中期报告。
设计过程：
1.设计要求：开关电容应小于1pF，工作电压为50V，具有低阻抗和高隔离度。
2.设计布局：采用了两个平面压电驱动器和两个平面金属电极，以形成开关结构。驱动电极由两个悬挂的金属形成互补结构。导电粘合层和绝缘层在驱动器和电极之间形成。开关结构被放置在氧化硅基板上。
3.选材：驱动器和电极由淀粉基气凝胶中3.5微米的压电铝酸钇（YAS）膜形成。相邻的电极由熔敷的金属形成。导电粘合层由5nm厚的金属形成。
加工过程：
1.制作助剂：加工过程中采用LF1000助剂，包括LF1000过程蚀刻、LF1000电子束光刻、LF1000离子束刻蚀。
2.电极晶圆制备：晶圆进行氧化、光刻并完成金属的蒸镀和电子束光刻。
3.压电钇铝石晶圆的制备：采用离子束沉积的方式制备压电钇铝石晶圆，并对其进行蒸镀、光刻和离子束刻蚀处理。
4.组装：组装过程中，使用了焊接和电极化处理技术。
总结：
本文介绍了高可靠性非接触式RFMEMS压电开关的设计和加工确定。通过对驱动器和电极的选择以及晶圆制备的过程，实现了低电容和高隔离度。未来的研究将进一步改善电极的性能，并提高系统的可靠性和耐久性。